機能性薄膜、機能性基板、及び酸化チタン薄膜製造方法。

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：石島茂男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999003916
Publication number (International publication number)：2000203885
Application date： Jan. 11, 1999
Publication date： Jul. 25, 2000
Summary：

【要約】【課題】耐久性が高く、光触媒機能を有する酸化チタン薄膜を提供する。【解決手段】バリア薄膜12表面に酸化チタン薄膜31を点在させ、その間に親水性薄膜41を形成し、機能性薄膜3を構成させる。機能性薄膜3表面に、酸化チタン薄膜31が露出する部分と親水性薄膜41が露出する部分とが混在するので、両方の薄膜の機能を得ることができる。従って、紫外線が照射される環境下ではセルフクリーニング効果と超親水性が発現され、暗所でも、ある程度の親水性が得られる。酸化チタン薄膜31は、酸素ガスが添加されたスパッタリングガスにより、酸化チタンターゲットをスパッタリングすると、形成される酸化チタン薄膜中の欠損酸素を補充できるので、光触媒機能を有する酸化チタン薄膜31を形成することができる。

Claim (excerpt)：

親水性薄膜と酸化チタン薄膜を有する機能性薄膜であって、前記機能性薄膜の表面には、前記親水性薄膜が露出する部分と、前記酸化チタン薄膜が露出する部分とが、微小領域中で混在することを特徴とする機能性薄膜。

IPC (3)：

C03C 17/34 , B01J 35/02 , C23C 14/08

FI (3)：

C03C 17/34 Z , B01J 35/02 J , C23C 14/08 E

F-Term (36)：

4G059AA01 , 4G059AC21 , 4G059AC22 , 4G059EA04 , 4G059EA05 , 4G059EB04 , 4G059GA01 , 4G059GA04 , 4G059GA05 , 4G059GA06 , 4G059GA12 , 4G069AA03 , 4G069AA08 , 4G069BA02A , 4G069BA02B , 4G069BA04A , 4G069BA04B , 4G069BA14A , 4G069BA14B , 4G069BA48A , 4G069CA10 , 4G069CA11 , 4G069DA05 , 4G069EA08 , 4G069ED01 , 4G069ED02 , 4G069EE01 , 4G069FA03 , 4G069FB03 , 4K029AA09 , 4K029AA24 , 4K029BA46 , 4K029BA48 , 4K029BB02 , 4K029BB03 , 4K029CA05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

光触媒性親水性部材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-281220 Applicant：東陶機器株式会社
親水性被膜およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-241018 Applicant：セントラル硝子株式会社, 日産自動車株式会社
防曇ガラス、及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-142879 Applicant：日本パーカライジング株式会社

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