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J-GLOBAL ID：200903048329547378

針形状物の作製方法および作製された針

Inventor：
井無田 秀司

About 井無田 秀司

, 
工藤 剛

About 工藤 剛


Applicant, Patent owner：
テルモ株式会社

About テルモ株式会社


Agent (1)： 八田 幹雄 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000272924
Publication number (International publication number)：2002079499
Application date： Sep. 08, 2000
Publication date： Mar. 19, 2002
Summary：
【要約】【課題】 少ない工程数で薬液を供給するための貫通孔を有する針形状物の作製方法および作製された針を提供する。【解決手段】 ウェットエッチングに対する保護膜を両面に施した金属もしくは金属化合物または半導体の単結晶基板の片面に複数本の溝を形成することにより該基板の片面に多角柱を形成し、該単結晶基板をエッチング剤液中に浸漬して不要な部分の単結晶材料をエッチングすることにより、針形状物を形成させることを特徴する針形状物の製造方法および該方法で作製された針。
Claim (excerpt)：
ウェットエッチングに対する保護膜を両面に施した金属もしくは金属化合物または半導体の単結晶基板の片面に複数本の溝を形成することにより多角柱を形成し、該単結晶基板をエッチング剤液中に浸漬して不要な部分の単結晶材料をエッチングすることにより、針形状物を形成させることを特徴とする針形状物の製造方法。
IPC (6)：
B81C 1/00 ,  A61B 17/20 ,  A61M 37/00 ,  B81B 1/00 ,  C23F 1/02 ,  H01L 21/306
FI (6)：
B81C 1/00 ,  A61B 17/20 ,  A61M 37/00 ,  B81B 1/00 ,  C23F 1/02 ,  H01L 21/306 B
F-Term (17)：
4C060MM01 ,  4C060MM22 ,  4K057WA19 ,  4K057WB06 ,  4K057WC06 ,  4K057WE07 ,  4K057WG01 ,  4K057WG02 ,  4K057WM03 ,  4K057WN10 ,  5F043AA02 ,  5F043AA31 ,  5F043BB02 ,  5F043BB22 ,  5F043DD02 ,  5F043FF01 ,  5F043GG10
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
  • 特表平6-508435
  • 特公平7-062258
  • 特表平6-508435
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