針形状物の作製方法および作製された針

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：八田幹雄 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000272924
Publication number (International publication number)：2002079499
Application date： Sep. 08, 2000
Publication date： Mar. 19, 2002
Summary：

【要約】【課題】少ない工程数で薬液を供給するための貫通孔を有する針形状物の作製方法および作製された針を提供する。【解決手段】ウェットエッチングに対する保護膜を両面に施した金属もしくは金属化合物または半導体の単結晶基板の片面に複数本の溝を形成することにより該基板の片面に多角柱を形成し、該単結晶基板をエッチング剤液中に浸漬して不要な部分の単結晶材料をエッチングすることにより、針形状物を形成させることを特徴する針形状物の製造方法および該方法で作製された針。

Claim (excerpt)：

ウェットエッチングに対する保護膜を両面に施した金属もしくは金属化合物または半導体の単結晶基板の片面に複数本の溝を形成することにより多角柱を形成し、該単結晶基板をエッチング剤液中に浸漬して不要な部分の単結晶材料をエッチングすることにより、針形状物を形成させることを特徴とする針形状物の製造方法。

IPC (6)：

B81C 1/00 , A61B 17/20 , A61M 37/00 , B81B 1/00 , C23F 1/02 , H01L 21/306

FI (6)：

B81C 1/00 , A61B 17/20 , A61M 37/00 , B81B 1/00 , C23F 1/02 , H01L 21/306 B

F-Term (17)：

4C060MM01 , 4C060MM22 , 4K057WA19 , 4K057WB06 , 4K057WC06 , 4K057WE07 , 4K057WG01 , 4K057WG02 , 4K057WM03 , 4K057WN10 , 5F043AA02 , 5F043AA31 , 5F043BB02 , 5F043BB22 , 5F043DD02 , 5F043FF01 , 5F043GG10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特表平6-508435
特公平7-062258
走査型プローブ顕微鏡用のカンチレバーチップ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-219969 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

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