走査型プローブ顕微鏡用のカンチレバーチップ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992219969
Publication number (International publication number)：1993256643
Application date： Aug. 19, 1992
Publication date： Oct. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】カンチレバーを試料に対して傾けて取り付けた場合にあっても、カンチレバーを傾けないで取り付けた場合と同じ様に試料の表面形状を測定することを可能にする走査型プローブ顕微鏡用のカンチレバーチップを提供する。【構成】カンチレバーチップ10は保持基板12を有し、そこから中抜きの三角形状のカンチレバー14が延出している。カンチレバー14の先端部には探針16が設けられている。この探針16の軸18はカンチレバー14の面に立てた法線20に対して所定の角度を有している。この角度は、カンチレバーチップ10を例えばAFM装置に取り付けたときに、探針16の軸18が試料面に垂直になるように設定してある。

Claim (excerpt)：

弾性変形するカンチレバーと、カンチレバーの面に立てた法線に対して所定の角度で傾いている傾斜軸と、カンチレバーの先端部に設けられた、傾斜軸に対して軸対称な探針とを備えている走査型プローブ顕微鏡用のカンチレバーチップ。

IPC (3)：

G01B 21/30 , G01B 7/34 , H01J 37/28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平3-218998
特開平1-262403
表面観察装置用プローブおよびその製造方法ならびに表面観察装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-170012 Applicant：株式会社日立製作所

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