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J-GLOBAL ID:200903048366856577

薄膜コイル、薄膜コイルの製造方法及び薄膜コイルにおける線材角部の除去方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 佐竹 弘
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993339416
Publication number (International publication number):1995163101
Application date: Dec. 03, 1993
Publication date: Jun. 23, 1995
Summary:
【要約】【目的】 経年変化による変形を生じ難く、機械的強度が高く、しかも電気的特性が良好な薄膜コイル及びそのような薄膜コイルを製造する方法を提供する。【構成】 コイルの線材を埋める為の絶縁材としてセラミックを用いる。線材コイルはそれを形成した後その断面形状における肩部を斜状にする。従ってその後線材相互間にセラミックを充填する場合、ボイドの発生無く充填を行うことが出来る。
Claim (excerpt):
絶縁層の上に渦巻き状のコイルが備えられ、更にそのコイルにおける線材相互の間及び線材の上側には線材相互を絶縁する為の絶縁材が設けられている薄膜コイルにおいて、上記コイルにおける線材の断面形状は、基本形状を矩形としてその肩部を斜状に欠如させた形状となっており、しかも上記絶縁材がセラミックであることを特徴とする薄膜コイル。
IPC (6):
H02K 15/04 ,  C23C 14/34 ,  C23F 4/00 ,  G11B 5/31 ,  H01F 17/00 ,  H02K 3/26
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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