反射防止膜およびその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：佐藤隆久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004332133
Publication number (International publication number)：2005331910
Application date： Nov. 16, 2004
Publication date： Dec. 02, 2005
Summary：

【課題】大きな表面積や曲率の基板に対しても均一な膜として容易に導入可能で、構造再現性があり、調節が容易で、より低コストで製造可能な漸進的屈折率分布を有する微細表面凹凸構造を有する多重粒子層構造を用いた反射防止膜とその製造方法を提供する。【解決手段】基板上にこれとは異種の電荷を有し、かつ均一なサイズを有するコロイド粒子を単層付着し、平板形スタンプでコロイド粒子の表面に異種の電荷を与えた後、コロイド粒子の表面上部にこれより粒子サイズが小さく、均一なコロイド粒子を基板と垂直方向に積層することによって、大表面積や曲率を有する基板にも自由に均一な導入が可能であり、構造再現および調節が容易であり、漸進的屈折率分布を有する微細表面凹凸構造を低コストで製造できるコロイド多重粒子構造を用いた反射防止膜およびその製造方法とする。【選択図】図4

Claim (excerpt)：

基板上に均一な粒子サイズを有する第1コロイド粒子が単層で形成され、前記第1コロイド粒子の表面上部に、前記第1コロイド粒子より小さい粒子サイズの第2コロイド粒子が基板に対して垂直方向に積層されて、多重粒子層構造を有し、漸進的な屈折率分布を有する反射防止膜。

IPC (2)：

G02B1/11 , B32B7/02

FI (2)：

G02B1/10 A , B32B7/02 103

F-Term (23)：

2K009AA01 , 2K009AA12 , 2K009CC03 , 2K009CC09 , 2K009CC21 , 2K009DD01 , 2K009DD08 , 4F100AA20B , 4F100AA21B , 4F100AB24B , 4F100AB25B , 4F100AG00A , 4F100AK04A , 4F100AK12B , 4F100AK25B , 4F100AK52B , 4F100AT00A , 4F100BA02 , 4F100DE01B , 4F100GB41 , 4F100GB90 , 4F100JN06 , 4F100JN18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

反射防止膜およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-317590 Applicant：大日本印刷株式会社

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