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J-GLOBAL ID：200903048385454900

湿った環境中の走査型電子顕微鏡のための低圧チャンバー

Inventor：
モゼズ,エリシャ

About モゼズ,エリシャ

, 
シバージュ,シュテファン

About シバージュ,シュテファン


Applicant, Patent owner：
イェダ・リサーチ・アンド・ディヴェロプメント・カンパニー・リミテッド

About イェダ・リサーチ・アンド・ディヴェロプメント・カンパニー・リミテッド


Agent (6)： 社本 一夫 ,  増井 忠弐 ,  小林 泰 ,  千葉 昭男 ,  富田 博行 ,  宮前 徹
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2004511866
Publication number (International publication number)：2005529340
Application date： Jun. 01, 2003
Publication date： Sep. 29, 2005
Summary：
【解決手段】 電子顕微鏡で使用するための標本エンクロージャアッセンブリ(100)は、アパーチャ(122)を有し、覆われた標本配置用の体積領域(125)を画定する、剛性の標本エンクロージャ皿部(102)と、該アパーチャ(122)でエンクロージャ外部の体積領域から該標本配置用体積領域を密封する、電子ビーム透過性で流体不透過性のカバー(114)と、該覆われた標本配置用の体積領域(125)と連通し、該覆われた標本配置用の体積領域を所定の圧力に維持するように作動する、圧力コントローラと、を備え、該所定の圧力は標本配置用体積領域内の液体サンプルの蒸気圧力を超え、エンクロージャの外部の体積領域の圧力よりも大きく、カバー(114)に亘る圧力差が該カバーの破裂が発生する閾値レベルを超えないようにする。
Claim (excerpt)：
電子顕微鏡で使用するための標本エンクロージャアッセンブリであって、 アパーチャを有し、覆われた標本配置用の体積領域を画定する、剛性の標本エンクロージャ皿部と、 前記アパーチャのところでエンクロージャ外部の体積領域から前記標本配置用体積領域を密封する、電子ビーム透過性で流体不透過性のカバーと、 前記覆われた標本配置用の体積領域と連通し、該覆われた標本配置用の体積領域を所定の圧力に維持するように作動する、圧力コントローラと、 を備え、 前記所定の圧力は、前記標本配置用体積領域内の液体サンプルの蒸気圧力を超え、前記エンクロージャの外部の体積領域の圧力よりも大きく、前記カバーに亘る圧力差が、該カバーの破裂が発生する閾値レベルを超えないようにしている、標本エンクロージャアッセンブリ。
IPC (2)：
G01N23/225 ,  H01J37/20
FI (2)：
G01N23/225 ,  H01J37/20 A
F-Term (8)：
2G001AA03 ,  2G001FA15 ,  2G001MA02 ,  2G001QA02 ,  2G001RA08 ,  5C001AA01 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (31)
  • 米国特許番号4,071,766
  • 米国特許番号6,130,434
  • 米国特許番号6,025,592
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Cited by examiner (4)
  • 特開昭51-042461
  • 特開昭50-141968
  • 走査型電子顕微鏡
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-206191   Applicant：株式会社ニコン
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