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J-GLOBAL ID：200903048408136090

真空用アクチュエータ

Inventor： 諏訪 達徳 ,  吉灘 裕
Applicant, Patent owner： 株式会社小松製作所
Agent (1)： 浜本 忠 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998232699
Publication number (International publication number)：2000069741
Application date： Aug. 19, 1998
Publication date： Mar. 03, 2000
Summary：

【要約】【課題】 回転中心方向の大きさを小さくできるようにする。【解決手段】 円筒状に形成されてこれの内側と外側とを気密状に封止する真空封止体22,22a,28a〜28dと、この真空封止体の外側に位置し、かつこの真空封止体に回転自在に支承された出力部材10a〜10dと、真空封止体の内側で、かつ出力部材の内側に対向する位置に設けたダイレクトドライブタイプのモータのステータ25a〜25dと、ステータに真空封止体を隔てて対向すると共に、出力部材の内側に固着されたダイレクトドライブタイプのモータのロータ26a〜26dとからなっている。

Claim (excerpt)：

円筒状に形成されてこれの内側と外側とを気密状に封止する真空封止体と、この真空封止体の外側に位置し、かつこの真空封止体に回転自在に支承された出力部材と、真空封止体の内側で、かつ出力部材の内側に対向する位置に設けたダイレクトドライブタイプのモータのステータと、ステータに真空封止体を隔てて対向すると共に、出力部材の内側に固着されたダイレクトドライブタイプのモータのロータと、からなることを特徴とする真空用アクチュエータ。

IPC (3)：

H02K 49/10 ,  B25J 19/00 ,  H02K 5/04

FI (3)：

H02K 49/10 A ,  B25J 19/00 A ,  H02K 5/04

F-Term (28)：

3F060AA01 ,  3F060AA07 ,  3F060AA08 ,  3F060BA00 ,  3F060DA10 ,  3F060EB12 ,  3F060EC12 ,  3F060GA13 ,  3F060GB12 ,  3F060GB31 ,  3F060HA00 ,  5H605AA00 ,  5H605BB05 ,  5H605BB14 ,  5H605BB17 ,  5H605CC05 ,  5H605DD01 ,  5H605EA19 ,  5H605EB10 ,  5H605EB12 ,  5H649AA00 ,  5H649AA01 ,  5H649BB02 ,  5H649BB07 ,  5H649GG01 ,  5H649HH01 ,  5H649JK02 ,  5H649JK04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 磁気駆動回転導入装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-117456   Applicant：株式会社日立製作所
• 高真空用アクチュエータ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-036728   Applicant：株式会社日立製作所