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J-GLOBAL ID：200903048424011701

透明導電膜のシート抵抗値の調整方法及び透明導電膜の形成方法

Inventor： 神田 広行 ,  権平 英昭 ,  瀬田 康弘 ,  山田 茂男
Applicant, Patent owner： 日本曹達株式会社
Agent (1)： 大石 治仁
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000319809
Publication number (International publication number)：2002133956
Application date： Oct. 19, 2000
Publication date： May. 10, 2002
Summary：

【要約】【課題】透明導電膜のシート抵抗値を、簡易かつ効率よく所望のシート抵抗値に調整する方法、及び高い可視光線透過率を有し、かつ均一な膜質の透明導電膜を簡易かつ歩留り良く形成する方法を提供する。【解決手段】(1)透明導電膜を所定の濃度の有機溶剤の存在下に加熱処理する工程を有する透明導電膜のシート抵抗値の調整方法、(2)基板上に直接又はその他の膜を介して透明導電膜を形成する工程と、前記透明導電膜を所定の濃度の有機溶剤の存在下に加熱処理する工程を有する透明導電膜のシート抵抗値の調整方法、又は(3)基板上に直接又はその他の膜を介して透明導電膜を形成する工程と、前記透明導電膜を所定の濃度の有機溶剤の存在下に加熱処理する工程とを有する透明導電膜の形成方法。

Claim (excerpt)：

透明導電膜を所定の濃度の有機溶剤の存在下に加熱処理する工程を有する透明導電膜のシート抵抗値の調整方法。

IPC (6)：

H01B 13/00 503 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/58 ,  C23C 16/40 ,  C23C 16/56 ,  G06F 3/033 360

FI (7)：

H01B 13/00 503 B ,  C23C 14/08 D ,  C23C 14/08 C ,  C23C 14/58 Z ,  C23C 16/40 ,  C23C 16/56 ,  G06F 3/033 360 H

F-Term (27)：

4K029BA45 ,  4K029BA47 ,  4K029BA49 ,  4K029BC09 ,  4K029CA01 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029EA01 ,  4K029GA00 ,  4K029GA01 ,  4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030BA11 ,  4K030BA42 ,  4K030BA45 ,  4K030BA47 ,  4K030DA08 ,  4K030DA09 ,  4K030LA01 ,  5B087AA00 ,  5B087CC13 ,  5B087CC16 ,  5G323BA02 ,  5G323BB03 ,  5G323BB05 ,  5G323BB06 ,  5G323BC03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 透明導電膜のシート抵抗値の調整方法及び透明導電膜の形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-208947   Applicant：日本曹達株式会社
• 特開平4-026768
  
• 透明導電膜の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-040851   Applicant：日本板硝子株式会社
• 透明導電性積層体及びペン入力タッチパネル
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-073906   Applicant：日本曹達株式会社
• 透明導電積層体およびこれを用いたタッチパネル
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-268788   Applicant：出光興産株式会社
• 高抵抗透明導電膜付ガラス
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-266174   Applicant：日本曹達株式会社