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J-GLOBAL ID：200903048530313091

表面検査装置

Inventor： 磯崎 久
Applicant, Patent owner： 株式会社トプコン
Agent (1)： 田辺 徹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997336568
Publication number (International publication number)：1999153547
Application date： Nov. 21, 1997
Publication date： Jun. 08, 1999
Summary：

【要約】【課題】 大きな異物で散乱に指向性があっても、正確に検査が行える表面検査装置を提供することである。【解決手段】 光を検査対象物の表面に走査して検査対象物の表面上の異物を検査する表面検査装置において、感度の異なる2個以上のセンサーを異なる位置に配置し、低感度用のセンサーにアクティブスライスを設定し、そのアクティブスライスを、高感度用のセンサーのスレッショルド信号レベルよりも高いレベルに設定する表面検査装置。

Claim (excerpt)：

光を検査対象物の表面に走査して検査対象物の表面上の異物を検査する表面検査装置において、感度の異なる2個以上のセンサーを異なる位置に配置し、低感度用のセンサーにアクティブスライスを設定し、そのアクティブスライスを、高感度用のセンサーのスレッショルド信号レベルよりも高いレベルに設定することを特徴とする表面検査装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 欠陥検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-336701   Applicant：株式会社ニコン