Pat

J-GLOBAL ID：200903048544449034

縦型反応炉

Inventor： 池田 和人 ,  開発 秀樹 ,  渡辺 誠治 ,  保坂 英二 ,  吉田 久志
Applicant, Patent owner： 国際電気株式会社
Agent (1)： 三好 祥二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993115379
Publication number (International publication number)：1994302533
Application date： Apr. 19, 1993
Publication date： Oct. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】回転部を有する高温炉に対し効果的な回転部シール装置を提供する。【構成】立設された反応管1と、該反応管の周囲を覆うヒータユニットと、シリコンウェーハを多段に保持するボートと、該ボートを回転させるボート回転機構7とを少なくとも具備する縦型反応炉に於いて、前記ボート回転部と固定部とをそれぞれ石英製とし、更に前記回転部下面に複数のリング突条34を形成すると共に固定部に前記リング突条が遊嵌するシール溝35を形成し、前記リング突条とシール溝とでラビリンス型の気体シールを構成し、回転部と固定部間のシールを行う。

Claim (excerpt)：

立設された反応管と、該反応管の周囲を覆うヒータユニットと、シリコンウェーハを多段に保持するボートと、該ボートを回転させるボート回転機構とを少なくとも具備する縦型反応炉に於いて、前記ボート回転部と固定部とをそれぞれ石英製とし、更に前記回転部下面に複数のリング突条を形成すると共に固定部に前記リング突条が遊嵌するシール溝を形成したことを特徴とする縦型反応炉。

IPC (2)：

H01L 21/22 ,  H01L 21/205

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平4-026115
  
• 熱処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-088976   Applicant：東京エレクトロン東北株式会社