透過形走査電子線装置及び試料密度測定方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：小川勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993102153
Publication number (International publication number)：1994310076
Application date： Apr. 28, 1993
Publication date： Nov. 04, 1994
Summary：

【要約】【目的】従来技術では達しえなかった、微視的な領域での物質の密度、特に高分子材料での密度を、透過形走査電子線装置を用いて評価できる手段と方法を提供することにある。【構成】STEMによる微小領域の観察だけでなく、試料への入射電子強度を検出する手段と、前記試料を透過した電子強度を検出する手段を設け、透過電子強度と入射電子強度の比、すなわち、その試料の電子線透過率と、走査領域での試料厚さtx物質の密度ρとの関係から、走査領域中の物質の密度を評価できるよう構成したもの。

Claim (excerpt)：

電子線を試料上で走査する手段を有し、前記試料から検出された信号を表示手段に導入して走査像を得る装置において、試料への入射電子強度を検出する手段と、試料を透過した電子信号を検出して透過走査像を得る手段とを有することを特徴とする透過形走査電子線装置。

IPC (4)：

H01J 37/28 , H01J 37/05 , H01J 37/244 , H01J 37/26

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平4-126345
特開昭61-061359
軽元素を主体とする試料観察用走査透過型電子顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-253111 Applicant：住友化学工業株式会社

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