Pat
J-GLOBAL ID：200903048769426769
欠陥検査装置、欠陥検査方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004265212
Publication number (International publication number)：2006078426
Application date： Sep. 13, 2004
Publication date： Mar. 23, 2006
Summary：
【課題】 複雑な構成の欠陥検査装置にすることなく、被検査物の種類により、欠陥検査精度が劣ることなく安定に欠陥を検出する欠陥検査装置及び欠陥検査方法の提供。【解決手段】 被検査物に検査光を照射する投光部と、該被検査物を透過した透過光、或いは反射光を検出し、前記被検査物の欠陥を検出する検出部とを有する欠陥検査装置において、該投光部は照射手段と、偏光子とを有し、該検出部は、検光子と光検出手段とを有し、該偏光子は、前記被検査物の固有の偏光軸に合わせ前記偏光子の偏光軸を変え、該照射手段からの光を偏光して前記被検査物に照射し、該検光子は、偏光軸を前記偏光子の偏光軸に合わせ、前記被検査物からの透過光、或いは反射光を通して透過量の変化、或いは反射量の変化を光検出手段で検出することにより、前記被検査物の欠陥を検出することを特徴とする欠陥検査装置。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
被検査物に検査光を照射する投光部と、該被検査物を透過した透過光、或いは反射光を検出し、前記被検査物の欠陥を検出する検出部とを有する欠陥検査装置において、
該投光部は照射手段と、偏光子とを有し、
該検出部は、検光子と光検出手段とを有し、
該偏光子は、前記被検査物の固有の偏光軸に合わせ前記偏光子の偏光軸を変え、該照射手段からの光を偏光して前記被検査物に照射し、
該検光子は、偏光軸を前記偏光子の偏光軸に合わせ、前記被検査物からの透過光、或いは反射光を通して透過量の変化、或いは反射量の変化を光検出手段で検出することにより、前記被検査物の欠陥を検出することを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (14)：
2G051AA32
, 2G051AA37
, 2G051AA41
, 2G051AB01
, 2G051AB02
, 2G051BA04
, 2G051BA11
, 2G051BB01
, 2G051BB03
, 2G051BB07
, 2G051CB01
, 2G051CB02
, 2G051CC07
, 2G051EA11
