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J-GLOBAL ID：200903048801538817

電気化学センサアレイ及びその製造方法

Inventor： 橘 武史 ,  横田 嘉宏 ,  小橋 宏司 ,  川上 信之 ,  林 和志
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 藤巻 正憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005146410
Publication number (International publication number)：2006322813
Application date： May. 19, 2005
Publication date： Nov. 30, 2006
Summary：

【課題】 複数の項目を検出することができ、高密度で、化学的安定性及び耐薬品性が優れた電気化学センサアレイ及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 絶縁性基板2の表面上に、センサ部となる相互に分離された複数の導電性炭素膜3を形成した後、ドライエッチングにより、絶縁性基板2における各導電性炭素膜3の直下域に貫通孔を形成する。そして、めっき等により、この貫通孔内にAu等の導電体を埋め込んで、一方の端部が導電性炭素膜3に接触するスルーホール4を形成する。その後、絶縁性基板2の他方の面上に、対応するスルーホール4と接触する複数の引出電極5を形成する。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

絶縁性基板と、前記絶縁性基板の一方の面上に形成され導電性炭素膜からなる複数個のセンサ部と、前記絶縁性基板の他方の面上に形成された複数個の引出電極と、前記絶縁性基板内に形成され前記導電性炭素膜とこの導電性炭素膜に対応する引出電極とを相互に接続するスルーホールと、を有することを特徴とする電気化学センサアレイ。

IPC (3)：

G01N 27/30 ,  G01N 37/00 ,  G01N 27/416

FI (4)：

G01N27/30 B ,  G01N37/00 102 ,  G01N37/00 103 ,  G01N27/46 336G

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 電気化学測定用フローセル及び電気化学測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-201088   Applicant：藤嶋昭, 株式会社明電舎
• 溶液分析方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-233456   Applicant：藤嶋昭, 株式会社明電舎
• 化学修飾を施した基体およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-320945   Applicant：東洋鋼鈑株式会社, 高橋浩二郎, 株式会社日本パーカーライジング広島工場