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J-GLOBAL ID：200903048828070094

電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器

Inventor：
高原 研一

About 高原 研一


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (3)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002342489
Publication number (International publication number)：2004177588
Application date： Nov. 26, 2002
Publication date： Jun. 24, 2004
Summary：
【課題】を提供する。【解決手段】電気光学装置は、画素電極(9a)と、これをスイッチング制御するTFT(30)と、そのゲート電極(3g)に走査信号を供給する走査線(3a)と、前記TFT(30)のソース領域に画像信号を供給するデータ線(6a)とを備えており、前記走査線は前記ゲート電極を含むと共に、該走査線のうち前記ゲート電極を含む部分を除く部分の少なくとも一部は、シリサイド化された部分(3ag)を含んでいる。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
基板上に、 画素電極と、 該画素電極をスイッチング制御する薄膜トランジスタと、 該薄膜トランジスタのゲート電極に走査信号を供給する走査線と、 前記薄膜トランジスタのソース領域に画像信号を供給するデータ線と を備えており、 前記走査線は前記ゲート電極を含むと共に、 該走査線のうち前記ゲート電極を含む部分を除く部分の少なくとも一部は、シリサイド化された部分を含んでいることを特徴とする電気光学装置。
IPC (4)：
G09F9/30 ,  G02F1/1343 ,  G02F1/1368 ,  H01L29/786
FI (4)：
G09F9/30 338 ,  G02F1/1343 ,  G02F1/1368 ,  H01L29/78 612C
F-Term (74)：
2H092GA24 ,  2H092JA24 ,  2H092JB22 ,  2H092JB54 ,  2H092KB04 ,  2H092NA11 ,  2H092PA13 ,  2H092RA05 ,  5C094AA10 ,  5C094AA16 ,  5C094AA25 ,  5C094AA43 ,  5C094AA48 ,  5C094AA53 ,  5C094BA03 ,  5C094BA16 ,  5C094BA27 ,  5C094BA43 ,  5C094BA75 ,  5C094CA19 ,  5C094DA13 ,  5C094DB01 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EB02 ,  5C094ED15 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094FB12 ,  5C094FB14 ,  5C094FB15 ,  5F110AA30 ,  5F110BB01 ,  5F110CC02 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD05 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD25 ,  5F110EE09 ,  5F110EE37 ,  5F110EE45 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF09 ,  5F110FF23 ,  5F110FF32 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG24 ,  5F110GG32 ,  5F110GG47 ,  5F110GG52 ,  5F110HJ01 ,  5F110HL02 ,  5F110HM14 ,  5F110HM15 ,  5F110NN02 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN25 ,  5F110NN26 ,  5F110NN35 ,  5F110NN42 ,  5F110NN46 ,  5F110NN54 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110PP02 ,  5F110PP03 ,  5F110PP10
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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