エリプソメトリ装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997261775
Publication number (International publication number)：1999101739
Application date： Sep. 26, 1997
Publication date： Apr. 13, 1999
Summary：

【要約】【課題】回転する部位を備えることなく構成できるエリプソメトリ装置を提供すること。【解決手段】試料70からの反射光の偏光状態を計測することにより前記試料70の状態を測定するエリプソメトリ装置において、各々が固定され前記反射光を偏光する複数の偏光手段(31,32)と、この複数の偏光手段(31,32)にて複数の方向へ偏光された前記反射光を検出する複数の検出手段(50,51,52)と、これら複数の検出手段(50,51,52)における検出結果から前記反射光の偏光状態を計測する計測手段(60)と、を具備。

Claim (excerpt)：

試料からの反射光の偏光状態を計測することにより前記試料の状態を測定するエリプソメトリ装置において、各々が固定され前記反射光を偏光する複数の偏光手段と、この複数の偏光手段にて複数の方向へ偏光された前記反射光を検出する複数の検出手段と、これら複数の検出手段における検出結果から前記反射光の偏光状態を計測する計測手段と、を具備したことを特徴とするエリプソメトリ装置。

IPC (3)：

G01N 21/21 , G01B 11/06 , G01J 4/04

FI (3)：

G01N 21/21 Z , G01B 11/06 Z , G01J 4/04 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

エリプソパラメータ測定方法及びエリプソメータ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-315686 Applicant：日本鋼管株式会社
特開平3-160331
特開平3-160331

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