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J-GLOBAL ID：200903049022284015
ビームの偏光を提供するための方法およびシステム
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (4)：
平木 祐輔
, 関谷 三男
, 渡辺 敏章
, 大塩 剛
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2004531106
Publication number (International publication number)：2006514751
Application date： Aug. 20, 2003
Publication date： May. 11, 2006
Summary：
放射偏光子、制御器、ならびに放射偏光およびビーム制御の方法を開示する。放射偏光子(10)は、基板(14)と、基板に伝達可能に結合された少なくとも1つの反射防止コーティング層(32)と、少なくとも1つの反射防止コーティング層に伝達可能に結合された少なくとも2つのナノ構造(22)と、少なくとも2つの溝付きの層(20)とを含み、少なくとも2つの溝付きの層のそれぞれが少なくとも2つのナノ構造のうちの対応する1つに貫入されている。この方法は、少なくとも1つの反射防止コーティング層を基板に伝達可能に結合するステップと、少なくとも2つのナノ構造を少なくとも1つの反射防止コーティング層の少なくとも1つに伝達可能に結合するステップと、少なくとも2つのナノ構造のうちの対応する1つに少なくとも2つの溝付きの層をそれぞれ貫入させるステップと、約250nmからほぼマイクロ波の波長未満までの範囲の通過波長を提供するために、少なくとも2つの溝付きの層と少なくとも2つのナノ構造とを結合するステップと、少なくとも2つの溝付きの層と少なくとも2つのナノ構造との結合を通過させることによって、約250nmからほぼマイクロ波の波長未満までの範囲の波長と少なくとも2つの溝付きの層に垂直な電場とを有する放射を検査するステップとを含むことができる。
Claim (excerpt)：
放射偏光子であって、
基板と、
前記基板に伝達可能に結合された少なくとも1つの反射防止コーティング層と、
前記少なくとも1つの反射防止コーティング層に伝達可能に結合された少なくとも2つのナノ構造と、
前記少なくとも2つのナノ構造の対応する1つにそれぞれが貫入された、少なくとも2つの溝付きの層とを含み、
前記溝付きの層のそれぞれと、前記ナノ構造の対応する1つとの伝達可能な結合によって放射が偏光され、前記放射が、前記少なくとも2つの溝付きの層に垂直な電場を有し、前記放射が約250nmからほぼマイクロ波の波長未満までの範囲の波長を有する放射偏光子。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (5)：
2H049BA05
, 2H049BA43
, 2H049BA45
, 2H049BB03
, 2H049BB65
