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J-GLOBAL ID：200903049060533568

クリーンルームのファンフィルタユニット

Inventor： 諏訪 延行
Applicant, Patent owner： 富士電機株式会社
Agent (1)： 篠部 正治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997131285
Publication number (International publication number)：1998277339
Application date： May. 21, 1997
Publication date： Oct. 20, 1998
Summary：

【要約】【課題】垂直層流型クリーンルームの天井側に配置したファンフィルタユニットを対象に、クリーンルーム内に区画した各清浄作業エリアに有害なガスを選択的に除去できるようにし、併せてそのメンテナンス性の改善が図れるように改良する。【解決手段】クリーンルーム1の清浄作業エリアA,B,Cに対応してその天井側に配置したファンフィルタユニット7ごとに、その下面側に配した除塵用フィルタ(HEPAフィルタ)7bの上方に並べて送風ファン7aを内蔵したユニットケース7cの内部にエア中の有害ガスを除去するマット状のガス吸着フィルタ6を組み込み、ここでガス吸着フィルタの仕様を、そのユニット下の清浄作業エリアで除去すべき有害ガスの性状に合わせて、アルカリ性ガス除去用,酸性ガス除去用,有機系ガス除去用の各種フィルタから選択する。

Claim (excerpt)：

垂直層流型クリーンルームの天井側に配置し、清浄エアを室内に向けてダウンフローさせるクリーンルームのファンフィルタユニットであり、送風ファンを内蔵したユニットケースの下面に除塵用の高性能フィルタを備えたものにおいて、各ユニットごとに、エア中の有害ガスを除去するマット状のガス吸着フィルタを、除塵用フィルタの上面側に並べてユニットケース内に組み込んだことを特徴とするクリーンルームのファンフィルタユニット。

IPC (2)：

B01D 46/52 ,  F24F 7/06

FI (2)：

B01D 46/52 B ,  F24F 7/06 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• ファンフィルタユニット
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-163535   Applicant：ニッタ株式会社
• 洗浄装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-207685   Applicant：ソニー株式会社
• 特開平2-126912