Pat

J-GLOBAL ID：200903049083701891

電鋳型とその製造方法

Inventor： 新輪 隆 ,  重城 幸一郎 ,  保科 宏行 ,  千葉 剛嗣
Applicant, Patent owner： セイコーインスツル株式会社
Agent (1)： 松下 義治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004367976
Publication number (International publication number)：2006169620
Application date： Dec. 20, 2004
Publication date： Jun. 29, 2006
Summary：

【課題】 多段構造体の各底面に電極を有する電鋳型とその製造方法を提供すること。【解決手段】 電鋳法で用いられ、二層以上の多段構造を有する電鋳型において、導電性を有する導電体を有し、導電体上に階段状に形成された樹脂と、樹脂の各層の上に形成された電極とを有し、導電体および電極の少なくとも一部が露出され、電極が樹脂よりも突出した形状を有していることを特徴とする電鋳型とした。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

電鋳法で用いられ、二層以上の多段構造を有する電鋳型において、 導電性を有する導電体を有し、 前記導電体上に階段状に形成された樹脂と、 前記樹脂の各層の上に形成された電極とを有し、 前記導電体および前記電極の少なくとも一部が露出され、 前記電極が前記樹脂よりも突出した形状を有していることを特徴とする電鋳型。

IPC (5)：

C25D 1/10 ,  B81B 1/00 ,  B81C 1/00 ,  B81C 5/00 ,  G03F 7/40

FI (5)：

C25D1/10 ,  B81B1/00 ,  B81C1/00 ,  B81C5/00 ,  G03F7/40 521

F-Term (6)：

2H096AA27 ,  2H096BA01 ,  2H096CA05 ,  2H096EA02 ,  2H096HA27 ,  2H096JA10

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 特開昭52-60241号公報
  
• 多重露光用マスク及びこれを用いたマイクロマシンの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-165811   Applicant：住友重機械工業株式会社

Cited by examiner (1)

• マイクロ構造体の作製方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-106295   Applicant：キヤノン株式会社