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J-GLOBAL ID：200903049176353079

角速度検出装置

Inventor：
小林 真司

About 小林 真司


Applicant, Patent owner：
株式会社村田製作所

About 株式会社村田製作所


Agent (1)： 広瀬 和彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996274025
Publication number (International publication number)：1998103960
Application date： Sep. 25, 1996
Publication date： Apr. 24, 1998
Summary：
【要約】【課題】 角速度検出装置において、振動体を検出軸方向に補正振動させる補正振動発生手段を設け、角速度が加わっていないときに検出軸方向に発生する漏れ振動を抑え、角速度の検出感度を高める。【解決手段】 振動体26の左,右には振動発生部33,33と変位検出部34,34を設けると共に、前,後には補正振動発生部35,35を設ける。そして、振動体26を振動軸となるX軸方向に矢示aで振動させた状態で被検出軸周りに角速度Ωが加わっていないときに発生する検出軸となるY軸方向の漏れ振動を、各補正振動発生部35によって発生する補正振動によって相殺する。これにより、振動体26に加わる漏れ振動を低減し、角速度Ωを正確に検出する。
Claim (excerpt)：
基板上に設けられ、互いに直交する振動軸と検出軸との2軸方向に変位可能な振動体と、駆動信号を印加することにより該振動体を振動軸方向に振動させる振動発生手段と、該振動発生手段によって前記振動体を振動軸方向に振動させた状態で、前記振動軸と検出軸の2軸に対して直交する被検出軸周りの角速度によって振動体が検出軸方向に変位するときの変位量を検出する変位検出手段とから構成してなる角速度検出装置において、補正信号を印加することにより前記振動体を検出軸方向に補正振動させる補正振動発生手段を設けたことを特徴とする角速度検出装置。
IPC (3)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 21/00
FI (3)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 21/00
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
  • 角速度センサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-304820   Applicant：日産自動車株式会社
  • 半導体ヨーレートセンサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-202003   Applicant：日本電装株式会社

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