マルチビーム露光方法及び装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (4)：中島淳 , 加藤和詳 , 西元勝一 , 福田浩志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004272388
Publication number (International publication number)：2006085070
Application date： Sep. 17, 2004
Publication date： Mar. 30, 2006
Summary：

【課題】 2次元光変調器等の複数の画素を選択的にon/offする手段を用いて、走査方向と直交する方向に対して一度に露光可能なドットの数を増加でき、FMスクリーンを用い安定した中間調の表現を記録できるマルチビーム露光方法及び装置を提供する。【解決手段】複数の画素を選択的にon/offする手段から、走査方向と平行に並ぶよう露光面上に投影される複数の露光ビームスポットBSを、走査方向に対して複数のブロックG1、G2、G3毎に分けると共に、ブロックG1、G2、G3相互間の相対的な位置を走査方向と直交する方向にシフトさせることにより少なくとも一方のブロックGによって露光面上に投影される露光ビームスポットBSと、他方のブロックGによって露光面上に投影される露光ビームスポットBSとが一致しないようにした状態で、走査露光する。【選択図】図8

Claim (excerpt)：

複数の画素を選択的にon/offする手段によるマルチビーム露光方法において、前記複数の画素を選択的にon/offする手段から、走査方向と平行に並ぶよう露光面上に投影される複数の露光ビームスポットを、走査方向に対して複数のブロック毎に分けると共に、当該ブロック相互間の相対的な位置を走査方向と直交する方向にシフトさせることにより少なくとも一方の前記ブロックによって露光面上に投影される前記露光ビームスポットと、他方の前記ブロックによって露光面上に投影される前記露光ビームスポットとが一致しないようにした状態で、走査露光することを特徴とするマルチビーム露光方法。

IPC (1)：

G03F 7/20

FI (1)：

G03F7/20 511

F-Term (6)：

2H097AA03 , 2H097AB05 , 2H097BB01 , 2H097CA06 , 2H097CA17 , 2H097LA03

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

露光ヘッド及び露光装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-154931 Applicant：富士写真フイルム株式会社

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