多点ファラデー装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：山本惠二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996353961
Publication number (International publication number)：1998177074
Application date： Dec. 17, 1996
Publication date： Jun. 30, 1998
Summary：

【要約】【課題】一つの多点ファラデーを用いて、少なくとも従来の二つの多点ファラデーを用いる場合と同様の測定を行うことができる多点ファラデー装置を提供する。【解決手段】この多点ファラデー装置30は、X方向に走査されるイオンビーム2(荷電粒子ビーム)をそれぞれ受ける複数のファラデーカップ34を当該イオンビーム2の走査方向Xに沿って並べて成る多点ファラデー32と、この多点ファラデー32をイオンビーム2の進行方向Zに沿って矢印Bに示すように前後に移動させる駆動装置40とを備えている。

Claim (excerpt)：

走査される荷電粒子ビームの測定に用いられる装置であって、前記荷電粒子ビームをそれぞれ受ける複数のファラデーカップを当該荷電粒子ビームの走査方向に沿って並べて成る多点ファラデーと、この多点ファラデーを前記荷電粒子ビームの進行方向に沿って前後に移動させる駆動装置とを備えることを特徴とする多点ファラデー装置。

IPC (4)：

G01T 1/29 , H01J 37/04 , H01J 37/317 , H01L 21/265

FI (4)：

G01T 1/29 A , H01J 37/04 A , H01J 37/317 C , H01L 21/265 T

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

荷電粒子線の偏向角測定方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-055366 Applicant：株式会社日立製作所
特開平4-022900

Return to Previous Page