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J-GLOBAL ID:200903049486020533
走査型スクイド顕微鏡
Inventor:
Applicant, Patent owner:
,
Agent (1):
丸岡 裕作
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999222958
Publication number (International publication number):2001050934
Application date: Aug. 05, 1999
Publication date: Feb. 23, 2001
Summary:
【要約】【課題】 磁気分布にできるだけ不要な擬似信号が重畳されないようにして、検出精度の向上を図る。【解決手段】 ステージ10に保持された観測対象物Wに対しレーザー光を照射して励起エネルギーを観測対象物Wへ供給するレーザー光照射手段20と、レーザー光の観測対象物W上の照射点Pに対する観測対象物Wの位置を相対的に移動させるレーザー光照射位置移動手段40と、超伝導ピックアップコイル51及びスクイド52を備え照射されたレーザー光によって観測対象物Wから誘発された微弱な磁場の変化を検出するスクイド磁場検出手段50と、スクイド磁場検出手段50からの検出結果に基づいて観測対象物Wの状態を画像として表示部61に表示させる画像化手段62を有した制御部60とを備え、レーザー光照射手段20から照射されたレーザー光の照射点Pとスクイド磁場検出手段50のピックアップコイル51との相対位置を固定した。
Claim (excerpt):
観測対象物を保持するステージと、該ステージに保持された観測対象物に対しレーザー光を照射して励起エネルギーを観測対象物へ供給するレーザー光照射手段と、該レーザー光照射手段から照射されたレーザー光の観測対象物上の照射点に対する該観測対象物の位置を相対的に移動させるレーザー光照射位置移動手段と、ピックアップコイル及びスクイドを備え上記レーザー光照射手段によって照射されたレーザー光によって観測対象物から誘発された微弱な磁場の変化を検出するスクイド磁場検出手段と、該スクイド磁場検出手段からの検出結果に基づいて観測対象物の状態を画像として表示部に表示させる画像化手段を有した制御部とを備えた走査型スクイド顕微鏡において、上記レーザー光照射手段から照射されたレーザー光の照射点と上記スクイド磁場検出手段のピックアップコイルとの相対位置を固定したことを特徴とする走査型スクイド顕微鏡。
IPC (2):
G01N 27/72
, G01R 33/035 ZAA
FI (2):
G01N 27/72
, G01R 33/035 ZAA
F-Term (15):
2G017AA05
, 2G017AA08
, 2G017AD32
, 2G017AD33
, 2G017BA15
, 2G017BA18
, 2G053AB01
, 2G053AB14
, 2G053BA15
, 2G053BB03
, 2G053BB05
, 2G053CA03
, 2G053CA10
, 2G053CB16
, 2G053CB29
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
-
走査型顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-049920
Applicant:富士通株式会社
-
非破壊検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-262741
Applicant:セイコー電子工業株式会社
-
SQUID磁束計を用いた励磁コイル移動型渦電流探傷装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-187296
Applicant:三菱重工業株式会社
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