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J-GLOBAL ID:200903049513446122
金属フィルタ及びそれを用いた酸性ガスの除去方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
鍬田 充生
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004367698
Publication number (International publication number):2006167688
Application date: Dec. 20, 2004
Publication date: Jun. 29, 2006
Summary:
【課題】被処理ガス中の腐食性酸性ガス(塩化水素、フッ化水素など)を、低い圧力損失で、効率よく除去する。【解決手段】腐食性の酸性ガスを含む被処理ガスと接触して、反応し、前記酸性ガスを除去するための金属フィルタを、ハニカム状又はフィン状に形成する。このような金属フィルタは、(i)スペーサを介して複数の金属板が積層した積層体、(ii)平板状金属板と波形状金属板とが交互に積層した積層体、又は(iii)ハニカム状金属成形体などで構成してもよい。前記金属フィルタを構成する金属は、アルミニウムなどであってもよい。このような金属フィルタはクリーンルームを浄化するのに有用である。【選択図】図1
Claim (excerpt):
腐食性の酸性ガスを含む被処理ガスと接触して、反応し、前記酸性ガスを除去するための金属フィルタであって、ハニカム状又はフィン状である金属フィルタ。
IPC (3):
B01J 20/28
, B01J 20/02
, B01D 53/40
FI (3):
B01J20/28 A
, B01J20/02 A
, B01D53/34 118Z
F-Term (13):
4D002AA19
, 4D002AA23
, 4D002AB01
, 4D002BA03
, 4D002DA70
, 4G066AA02B
, 4G066BA01
, 4G066BA05
, 4G066BA07
, 4G066CA07
, 4G066CA31
, 4G066CA32
, 4G066DA02
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (4)
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ケミカルフィルター
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-128165
Applicant:東レ株式会社
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フィルタ濾材
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-082840
Applicant:東レ株式会社
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ガス吸着濾材
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-031588
Applicant:大阪ガスケミカル株式会社
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特許第3309288号(請求項1、段落番号[0009]及び[0011])
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Cited by examiner (6)
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特開昭62-110735
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特許第3309288号
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排ガス中の腐食性物質の除去方法及び除去装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-132975
Applicant:日本碍子株式会社
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特開昭60-175522
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ケミカルフィルター
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-128165
Applicant:東レ株式会社
-
フィルタ濾材
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-082840
Applicant:東レ株式会社
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