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J-GLOBAL ID:200903049581930970

ホログラム検査装置及び方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鈴木 晴敏
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995149995
Publication number (International publication number):1997005209
Application date: Jun. 16, 1995
Publication date: Jan. 10, 1997
Summary:
【要約】【目的】 検査対象となるホログラムに含まれる回折格子パターンの形状,構造を電気的手段により数値的に高精度で求め、検査品質の向上を図ると共に、品質管理が可能で製造ライン中や出荷後の検査が簡単に行われ、安価に実施出来るホログラム検査装置及び方法を提供する。【構成】 光源部2からホログラム7に含まれる回折格子パターンを検査し得る波長成分の光線を放射し、ホログラム7から反射した回折光を光センサ4により検出し、その回折角および強度を求め、演算手段5によりそれ等の値から回折格子パターンの格子ピッチ、格子方向および回折効率を数値的に求める。
Claim (excerpt):
所定の波長成分を含む光線を放射する光源部と、前記波長成分に対し感度を有する光センサと、検査対象のホログラムに対し前記光源部および光センサを配置する保持部と、前記光センサの出力に基づき前記ホログラムを構成する回折格子パターンの検査特性値を演算する演算手段とを備えるホログラム検査装置であって、前記光源部は、その光線が前記ホログラムの所望領域を照射するように配置され、前記光センサは、前記ホログラムの所望領域に含まれる回折格子パターンにより回折された回折光を受光するように配置され、前記演算手段は光センサの出力に基づいて回折光の回折角度および強度から回折格子パターンの格子ピッチ,格子方向および回折効率の少なくともいずれか1つを表わす検査特性値を演算することを特徴とするホログラム検査装置。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)

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