X線CT検査装置及びX線CT検査方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：岩橋文雄 , 坂口智康 , 内藤浩樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005031394
Publication number (International publication number)：2006220424
Application date： Feb. 08, 2005
Publication date： Aug. 24, 2006
Summary：

【課題】基板面の近似平面を決定することで、断層画像の画像再構成処理において、被検体の状態に関係なく、最小限の画像再構成領域を設定するX線CT検査装置を提供する。【解決手段】電子基板に搭載される被検体を透過した透過X線像を用いて被検体の断層画像を生成するX線CT検査装置であって、被検体にX線を照射する手段126と、前記被検体を透過したX線を計測する手段125と、X線計測手段125により計測したX線データを用いて被検体の断層画像の画像再構成を行う手段152と、電子基板上の被検体の表面形状データ(高さ位置)を計測する手段121と、電子基板内の異なる2領域以上の表面形状データから、断層画像の基準面となる基板近似平面を決定する手段153と、を備え、決定した基板近似平面を基準に、画像再構成手段152により画像化する領域を決定する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

電子基板に搭載される被検体を透過した透過X線像を用いて被検体の断層画像を生成するX線CT検査装置であって、前記被検体にX線を照射する手段と、前記被検体を透過したX線を計測する手段と、前記X線計測手段により計測したX線データを用いて前記被検体の断層画像の画像再構成を行う手段と、前記電子基板上の被検体の表面形状データを計測する手段と、前記電子基板内の異なる2領域以上の表面形状データから、前記断層画像の基準面となる基板近似平面を決定する手段と、を備え、前記決定した基板近似平面を基準に、前記画像再構成手段により画像化する領域を決定することを特徴とするX線CT検査装置。

IPC (2)：

G01N 23/04 , G01B 11/24

FI (2)：

G01N23/04 , G01B11/24 A

F-Term (30)：

2F065AA51 , 2F065BB05 , 2F065CC01 , 2F065DD06 , 2F065FF09 , 2F065GG04 , 2G001AA01 , 2G001AA07 , 2G001AA10 , 2G001BA11 , 2G001BA15 , 2G001BA30 , 2G001CA01 , 2G001CA07 , 2G001CA10 , 2G001DA01 , 2G001DA02 , 2G001DA09 , 2G001FA01 , 2G001FA06 , 2G001FA16 , 2G001GA04 , 2G001GA06 , 2G001GA08 , 2G001HA09 , 2G001JA11 , 2G001JA13 , 2G001KA03 , 2G001KA20 , 2G001LA11

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

X線断層面検査方法、及びX線断層面検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-044696 Applicant：株式会社島津製作所

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