Pat
J-GLOBAL ID:200903049822019417
光学検査装置および光学検査方法、並びにカラーフィルタの製造方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3):
原 謙三
, 木島 隆一
, 金子 一郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004312673
Publication number (International publication number):2006125936
Application date: Oct. 27, 2004
Publication date: May. 18, 2006
Summary:
【課題】 カラーフィルタのムラを精度よく検査することができる光学検査装置を提供する。【解決手段】 カラーフィルタ16の透過光量変化または反射光量変化に敏感な波長帯域の光を透過する光学フィルタ12を用いて生成した検査画像と、透過光量変化または反射光量変化に鈍感な波長帯域の光を透過する光学フィルタ12を用いて生成した参照画像とに基づいて、カラーフィルタ16のムラを検査する検査手段を備える。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
撮像手段と、
検査対象の透過光量変化または反射光量変化に敏感な波長帯域の光を透過する第1光学フィルタと、上記透過光量変化または反射光量変化に対して鈍感な波長帯域の光を透過する第2光学フィルタとを切り替える切り替え手段と、
検査対象の透過光量変化または反射光量変化に関し、上記第1光学フィルタを用いて上記撮像手段が撮像した検査画像と、上記第2光学フィルタを用いて上記撮像手段が撮像した参照画像とに基づいて、上記検査対象における透過光量または反射光量のムラを検査す
る検査手段と、を備えることを特徴とする光学検査装置。
IPC (3):
G01N 21/958
, G01M 11/00
, G02F 1/133
FI (3):
G01N21/958
, G01M11/00 T
, G02F1/1335 505
F-Term (19):
2G051AA90
, 2G051AB20
, 2G051AC21
, 2G051BA04
, 2G051BA05
, 2G051BA08
, 2G051CA04
, 2G051CB02
, 2G051CC07
, 2G051EA23
, 2G051ED01
, 2G051ED14
, 2G086EE10
, 2H091FA02Y
, 2H091FC29
, 2H091FC30
, 2H091FD04
, 2H091LA12
, 2H091LA15
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
-
周期性パターンのムラ検査方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-286120
Applicant:大日本印刷株式会社
-
特開平3-287053号公報(平成3(1991)年12月17日公開)
Return to Previous Page