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J-GLOBAL ID：200903049832976053

インピーダンス式検出システム及びその製造方法

Inventor： フアン・ヘルウェン,ペーター ,  ベールト,クリス ,  ロサウ,ルディ
Applicant, Patent owner： イノジェネティックス・ナムローゼ・フェンノートシャップ ,  アンテルユニヴェルシテール・ミクロ-エレクトロニカ・サントリュム・ヴェー・ゼッド・ドゥブルヴェ
Agent (1)： 青山 葆 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1997520961
Publication number (International publication number)：2000501503
Application date： Nov. 29, 1996
Publication date： Feb. 08, 2000
Summary：

【要約】サンプル溶液中の分子構造を確認するためのセンサーが開示されている。該センサーは、基本的には同一方向を向く複数の離間したチャンネルをその内部に備えた絶縁層を含んでいる。上記チャンネルは、上記方向に沿う、少なくとも2つの背向する側壁と底部とを有している。チャンネルはさらにミクロン下の寸法を有している。基本的には各チャンネルの上記2つの背向する側壁の1つと、上記チャンネル間における誘電体層の頂部とに、金属被膜が形成され、これにより隣り合うチャンネルの中及び間に、上記サンプル溶液を備えたインピーダンス式デバイスが形成される。上記分子構造に特別に結合するためのプローブが加えられることができ、上記プローブはチャンネルの絶縁部(上記チャンネルのもう1つの側壁及び上記底部)か、電極の表面か、あるいはチャンネルの絶縁部及び電極の表面の両方に加えられる。さらに、金属被膜に電圧を印加する手段と、電極間におけるインピーダンスを測定する手段とが設けられている。さらに、サンプル溶液中の分子構造を確認するためのセンサーの製造方法が開示されている。この方法は、絶縁層内に複数の離間したチャンネルを形成するステップを含んでいる。ここで、上記チャンネルは、基本的には同一方向を向き、上記方向に沿う少なくとも2つの背向する側壁と底部とを有している。該方法は、上記絶縁層の上に金属層を堆積し、他方上記金属層を金属堆積源について整列させるステップも含む。ここで、堆積方向に沿う上記チャンネルの側壁と上記チャンネルの底部とは、金属によって遮蔽されるが被覆はされず、これにより隣り合うチャンネルの中及び間に上記サンプル溶液を伴ったインピーダンス式デバイスが形成される。該方法はさらに、上記分子構造と結合するためのプローブを加えるステップも含んでいる。ここで、上記プローブは、堆積方向に面している、チャンネルの絶縁部(上記チャンネルのもう1つの側壁及び上記底部)か、電極の表面か、あるいはチャンネルの絶縁部及び電極の表面の両方に加えられる。

Claim (excerpt)：

基本的には同一方向を向く複数の互いに離間したチャンネルを内部に備えていて、上記チャンネルが上記方向に沿う少なくとも2つの背向する側壁と底部とを有している絶縁層と、 基本的には各チャンネルの上記2つの背向する側壁の1つの少なくとも一部と、上記チャンネル間の絶縁層の頂部の少なくとも一部とに形成され、これにより2つの電極を含むインピーダンス式デバイスの一部を形成する金属被膜とを含んでいるセンサー。

IPC (2)：

G01N 27/02 ,  G01N 33/543 593

FI (2)：

G01N 27/02 Z ,  G01N 33/543 593

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 分子を検出する方法および装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-310445   Applicant：ヒューストン・アドバンスト・リサーチ・センター, ベイラーカレッジオブメディスン, マサチューセッツ・インスティチュート・オブ・テクノロジー
• 特開昭64-086053
  
• 特表平2-504069
  
• 特許第2215846号