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J-GLOBAL ID：200903049913790639

大型超精密非球面の加工測定装置及び方法

Inventor： 守安 精 ,  加藤 純一 ,  大森 整 ,  山形 豊 ,  林 偉民 ,  山口 一郎
Applicant, Patent owner： 理化学研究所
Agent (1)： 堀田 実 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000192332
Publication number (International publication number)：2002011656
Application date： Jun. 27, 2000
Publication date： Jan. 15, 2002
Summary：

【要約】【課題】 (1)ワークの取外し/再取付けを行うことなく機上で形状測定ができ、(2)形状測定の際にワークの移動誤差の影響をなくして形状測定精度を加工精度以上に高めることができ、(3)かつ加工及び測定時にコンピュータプログラムにより各軸をリアルタイムに制御することができ、これにより、大型超精密X線ミラー等を高精度かつ優れた表面粗さに高能率に加工することができる大型超精密非球面の加工測定装置及び方法を提供する。【解決手段】 ワーク1を固定して少なくとも一軸方向にNC制御可能なワークテーブル14と、ワークを研削加工する導電性砥石4が取付けられるツールヘッド21と、導電性砥石をワークを加工しながら電解ドレッシングするELID研削装置22と、ツールヘッドに少なくとも一部が取付けられワークの加工面の傾斜角を測定する差動式傾斜測定装置25と、測定された傾斜角から形状誤差を求めNCプログラムを補正するプログラム補正装置30とを備え、ワークの取外し/再取付けを行うことなく同一の機上でELID研削加工と差動式傾斜測定を行う。

Claim (excerpt)：

ワーク(1)を固定して少なくとも一軸方向にNC制御可能なワークテーブル(14)と、ワークを研削加工する導電性砥石(4)が取付けられるツールヘッド(21)と、該導電性砥石をワークを加工しながら電解ドレッシングするELID研削装置(22)と、ツールヘッドに少なくとも一部が取付けられワークの加工面の傾斜角を測定する差動式傾斜測定装置(25)と、測定された傾斜角から形状誤差を求めNCプログラムを補正するプログラム補正装置(30)とを備えたことを特徴とする大型超精密非球面の加工測定装置。

IPC (9)：

B24B 49/04 ,  B23Q 15/02 ,  B23Q 17/20 ,  B23Q 17/24 ,  B24B 13/00 ,  B24B 49/12 ,  B24B 53/00 ,  G01B 11/26 ,  G05B 19/4103

FI (9)：

B24B 49/04 Z ,  B23Q 15/02 ,  B23Q 17/20 B ,  B23Q 17/24 C ,  B24B 13/00 A ,  B24B 49/12 ,  B24B 53/00 D ,  G01B 11/26 G ,  G05B 19/4103 D

F-Term (47)：

2F065AA45 ,  2F065BB25 ,  2F065CC21 ,  2F065DD00 ,  2F065DD06 ,  2F065FF00 ,  2F065FF52 ,  2F065GG04 ,  2F065HH03 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ05 ,  2F065LL00 ,  2F065LL12 ,  2F065LL46 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065UU04 ,  2F065UU07 ,  3C001KA02 ,  3C001KB07 ,  3C001TA02 ,  3C001TB03 ,  3C029AA01 ,  3C029BB10 ,  3C034AA13 ,  3C034BB93 ,  3C034CA05 ,  3C034CA22 ,  3C034CB01 ,  3C034DD07 ,  3C047AA24 ,  3C049AA03 ,  3C049AA19 ,  3C049AC02 ,  3C049BA01 ,  3C049BB09 ,  3C049BC02 ,  3C049CA01 ,  3C049CB01 ,  3C049CB03 ,  5H269AB07 ,  5H269AB26 ,  5H269CC02 ,  5H269DD01 ,  5H269GG01 ,  5H269JJ02 ,  5H269QA05