ダイヤモンド被覆非ダイヤモンド炭素部材及びその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：藤巻正憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001343302
Publication number (International publication number)：2003147527
Application date： Nov. 08, 2001
Publication date： May. 21, 2003
Summary：

【要約】【課題】活性化水素によるエッチング作用に対する耐性が低い非ダイヤモンド炭素材料を基材とするダイヤモンド被覆非ダイヤモンド炭素部材及びその製造方法を提供する。【解決手段】アモルファス炭素又はグラファイトからなる非ダイヤモンド炭素基材1上に、化学気相合成によって、成膜速度を0.5μm/時として微結晶ダイヤモンド膜2を形成する。この化学気相合成の条件は、メタンの濃度が5乃至50体積%であり圧力が例えば6.7kPaの水素及びメタンの混合ガス中に基材1を配置し、基材1を870乃至1000°Cの温度に加熱するものである。次に、微結晶ダイヤモンド膜2上に、通常の条件によりダイヤモンドの気相合成を行い、高品質ダイヤモンド膜3を形成する。

Claim (excerpt)：

非ダイヤモンド炭素からなる基材と、この基材上に形成された微結晶ダイヤモンドからなる中間層と、この中間層上に形成されたダイヤモンド膜と、を有することを特徴とするダイヤモンド被覆非ダイヤモンド炭素部材。

IPC (2)：

C23C 16/27 , C30B 29/04

FI (2)：

C23C 16/27 , C30B 29/04 E

F-Term (25)：

4G077AA03 , 4G077BA03 , 4G077DB19 , 4G077ED06 , 4G077EE05 , 4G077EF01 , 4G077HA06 , 4G077HA20 , 4G077TA04 , 4G077TB02 , 4G077TB07 , 4G077TC02 , 4G077TC13 , 4G077TK01 , 4K030AA09 , 4K030BA28 , 4K030BB13 , 4K030CA05 , 4K030DA02 , 4K030FA01 , 4K030HA01 , 4K030JA06 , 4K030JA12 , 4K030LA11 , 4K030LA23

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

高熱伝導性基板及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-260396 Applicant：株式会社神戸製鋼所
特開昭63-307196
特開平2-233592

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Cited by examiner (13)

高熱伝導性基板及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-260396 Applicant：株式会社神戸製鋼所
特開昭63-307196
特開昭63-307196

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