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J-GLOBAL ID：200903050005966798

ウエハ処理装置

Inventor： 田中 秀幸
Applicant, Patent owner： ヤマハ株式会社
Agent (1)： 伊沢 敏昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996023260
Publication number (International publication number)：1997199569
Application date： Jan. 17, 1996
Publication date： Jul. 31, 1997
Summary：

【要約】【課題】 搬送室を介して処理室間で被処理ウエハを移動させる型のウエハ処理装置において、処理室から搬送室に処理ガスが流入して被処理ウエハに悪影響を及ぼすのを防ぐ。【解決手段】 ガス供給装置18から搬送室10にAr等のパージガスを供給すると共に搬送室10から真空ポンプ16で排気することにより搬送室10の真空度を処理室14a〜14eの一部又は全部のものに対して陽圧に維持し、例えば2×10-3Torrとする。この状態において、搬送室10を介して処理室間でロボット12により被処理ウエハを移動させると、搬送室10には、陰圧状態にある処理室から処理ガスが流入しない。

Claim (excerpt)：

搬送室を介して複数の処理室間で被処理ウエハを移動させる型のウエハ処理装置であって、前記搬送室の真空度を前記複数の処理室のうちの少なくとも1つのものに対して陽圧に維持する真空度設定手段を備えたウエハ処理装置。

IPC (5)：

H01L 21/68 ,  C23C 14/56 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/285

FI (5)：

H01L 21/68 A ,  C23C 14/56 G ,  H01L 21/02 Z ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/285 S

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 処理装置内の被処理体の搬送方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-021932   Applicant：東京エレクトロン株式会社
• プラズマ処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-041089   Applicant：株式会社神戸製鋼所
• 特開平2-308538