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J-GLOBAL ID：200903050051930501

静電チャックおよびその製造方法

Inventor： 清原 正勝 ,  鳩野 広典 ,  森 勝彦 ,  横山 達郎 ,  伊藤 朋和 ,  麻生 雄二 ,  北林 徹夫 ,  明渡 純
Applicant, Patent owner： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  東陶機器株式会社
Agent (1)： 小山 有
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001314442
Publication number (International publication number)：2002190512
Application date： Oct. 11, 2001
Publication date： Jul. 05, 2002
Summary：

【要約】【課題】静電吸着力に関与するセラミック誘電体部分の膜厚が従来に比べ薄く、緻密で、熱伝導性、耐摩耗性、耐食性、汚染性などの諸特性に優れた静電チャックを提供する。【解決手段】予め内部歪を有する脆性材料微粒子を高速で基板表面に吹付ける。すると、基板との衝突により脆性材料微粒子は変形或いは破砕される。この変形或いは破砕によって活性な新生面が現れ、この新生面を介して結晶子同士が強硬に再結合する。

Claim (excerpt)：

導電性基板の表面に誘電体層が形成され、前記基板に電圧を印加することにより前記誘電体層を介して前記基板と被吸着物間に吸着作用を生じさせる静電チャックにおいて、前記誘電体層は多結晶の脆性材料からなるとともに前記基板の表面に直接接合され、前記誘電体層を構成する結晶は実質的に結晶配向性がなく、また前記結晶同士の界面にはガラス層からなる粒界層が実質的に存在せず、さらに前記誘電体層の一部は基板表面に食い込むアンカー部となっていることを特徴とする静電チャック。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  C04B 35/00 ,  C04B 35/495

FI (3)：

H01L 21/68 R ,  C04B 35/00 H ,  C04B 35/00 J

F-Term (22)：

4G030AA07 ,  4G030AA08 ,  4G030AA09 ,  4G030AA10 ,  4G030AA17 ,  4G030AA22 ,  4G030AA36 ,  4G030AA37 ,  4G030AA47 ,  4G030AA50 ,  4G030AA51 ,  4G030AA52 ,  4G030BA09 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA16 ,  5F031HA38 ,  5F031MA23 ,  5F031NA04 ,  5F031PA11 ,  5F031PA30

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 超微粒子成膜法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-210765   Applicant：工業技術院長
• 特許第3348154号
  

Cited by examiner (2)

• 超微粒子成膜法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-210765   Applicant：工業技術院長
• 特許第3348154号