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J-GLOBAL ID：200903050112487886

微分干渉顕微鏡

Inventor： 大瀧 達朗 ,  川人 敬
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 佐藤 正年 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993196717
Publication number (International publication number)：1995035982
Application date： Jul. 15, 1993
Publication date： Feb. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】 コントラストを上げても対物レンズの分解能をより活かすことのできる微分干渉顕微鏡を得る。【構成】 微分干渉顕微鏡において、対物レンズによって形成された被検物の像を観察するための観察手段が、被検物の像を光電的に検出する撮像手段と、該撮像手段に検出された被検物の像のコントラストを強調するコントラスト強調手段とを有し、さらに、対物レンズの分解能をδとしたとき、常光線と異常光線とのシアー量Sが以下の条件を満たすものとした。δ/20≦S<δ/2

Claim (excerpt)：

光源と、該光源からの光を集光して被検物を照明するコンデンサレンズと、前記被検物を介した前記コンデンサレンズからの光を集光して前記被検物の像を形成する対物レンズと、前記像を観察するための観察手段を有し、前記光源と前記被検物との間に、前記光源側から順に、前記光源からの光束を所定の偏光光とする第1の偏光手段と、前記偏光光を常光線と異常光線との2光線に分離する第1の複屈折素子とを備えると共に、前記被検物と前記像との間に、前記被検物から順に、前記被検物を介した前記2光線を同一光路上に導く第2の複屈折素子と、前記同一光路上に導かれた2光線を干渉させる第2の偏光手段とを備えた微分干渉顕微鏡において、前記観察手段は、前記被検物の像を光電的に検出する撮像手段と、該撮像手段に検出された前記被検物の像のコントラストを強調するコントラスト強調手段とを有し、さらに、前記対物レンズの分解能をδとしたとき、前記常光線と前記異常光線とのシアー量Sが以下の条件を満たすことを特徴とする微分干渉顕微鏡。δ/20≦S<δ/2

IPC (4)：

G02B 21/00 ,  G02B 5/30 ,  G02B 21/02 ,  G02B 21/08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-335315
  
• 特開平4-269846
  
• 微分干渉顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-107905   Applicant：富士通株式会社