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J-GLOBAL ID：200903050189147840

光学特性計測装置及び光学特性計測方法、並びに、光学特性計測ユニット

Inventor： 大谷 幸利 ,  海老澤 瑞枝
Applicant, Patent owner： 国立大学法人東京農工大学
Agent (3)： 大渕 美千栄 ,  布施 行夫 ,  都築 美奈
Gazette classification：再公表公報
Application number (International application number)：JP2007055355
Publication number (International publication number)：WO2007111159
Application date： Mar. 16, 2007
Publication date： Oct. 04, 2007
Summary：

光学特性計測装置は、光学系10と、測定光の光強度情報を取得する光強度情報取得部40と、演算処理部60とを含む。光学系10は、光源12から出射された光を、偏光子22、1/2波長板24、第1の1/4波長板26を介して試料100に入射させ、試料100から出射した光を、第2の1/4波長板34、検光子36を介して受光部14に入射させるように、かつ、1/2波長板24、第1及び第2の1/4波長板26,34、並びに、検光子36が回転可能に構成されている。光強度情報取得部40では、複数の測定光の光強度情報を取得する。演算処理部60では、測定光の光強度の理論式と、測定光の光強度情報とに基づいて、試料の光学特性を表す行列の行列要素を少なくとも1つ算出する。

Claim (excerpt)：

測定対象の光学特性を計測する光学特性計測装置において、 所定の波長の光を出射する光源と、少なくとも5個の光学素子と、前記少なくとも5個の光学素子及び前記測定対象で前記光を変調させることによって得られる測定光を受光する受光部と、を含む光学系と、 前記測定光の光強度情報を取得する光強度情報取得部と、 前記測定光の光強度の理論式と、前記測定光の光強度情報とに基づいて、前記測定対象の光学特性を表す行列の行列要素の少なくとも1つを算出する演算処理を行う演算処理部と、 を含み、 前記少なくとも5個の光学素子は、第1及び第2の偏光子、1/2波長板、第1及び第2の1/4波長板を含み、 前記光学系は、前記光源から出射された光を、前記第1の偏光子、前記1/2波長板、及び、前記第1の1/4波長板を介して前記測定対象に入射させ、前記測定対象によって変調された前記光を、前記第2の1/4波長板及び前記第2の偏光子を介して前記受光部に入射させるように、かつ、 少なくとも、前記1/2波長板、前記第1及び第2の1/4波長板、並びに、前記第2の偏光子が回転可能に構成されてなり、 前記光強度情報取得部では、 前記1/2波長板、前記第1及び第2の1/4波長板、並びに、前記第2の偏光子の主軸方位の少なくとも1つが異なる第1〜第N(Nは2以上の整数)の条件に設定された前記光学系で得られる第1〜第Nの前記測定光の光強度情報を取得し、 前記演算処理部では、 前記測定対象の光学特性を表す行列の行列要素を変数として含む、前記少なくとも5個の光学素子の主軸方位を反映した前記第1〜第Nの測定光の光強度の理論式と、前記第1〜第Nの測定光の光強度情報とに基づいて、前記行列要素の少なくとも1つを算出する演算処理を行う光学特性計測装置。

IPC (1)：

G01J 4/04

FI (1)：

G01J4/04 Z

F-Term (9)：

2G059AA02 ,  2G059BB12 ,  2G059EE05 ,  2G059FF12 ,  2G059GG01 ,  2G059JJ19 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM10