成膜装置およびそのクリーニング方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001128812
Publication number (International publication number)：2002060926
Application date： Apr. 26, 2001
Publication date： Feb. 28, 2002
Summary：

【要約】【課題】成膜室内の部品に付着した蒸着材料を大気解放することなく除去するためのクリーニング方法を提供する。【解決手段】成膜室101内に設けられた基板ホルダ102、蒸着マスク104、マスクホルダ105もしくは防着シールド106といった部品に付着した蒸着材料111に対して加熱処理を行う。これにより付着した蒸着材料111を再び昇華させ、真空ポンプにより排気して除去する。このようなクリーニング方法を電気光学装置の作製工程に含めることで、作製工程の短縮化と信頼性の高い電気光学装置の実現を図る

Claim (excerpt)：

成膜室に設けられた部品に対して赤外光、紫外光もしくは可視光を照射する手段を有することを特徴とする成膜装置。

IPC (5)：

C23C 14/00 , H01L 21/203 , H01L 21/3065 , H05B 33/10 , H05B 33/14

FI (5)：

C23C 14/00 B , H01L 21/203 Z , H05B 33/10 , H05B 33/14 A , H01L 21/302 N

F-Term (31)：

3K007AB13 , 3K007AB18 , 3K007BB01 , 3K007BB02 , 3K007CA04 , 3K007CB01 , 3K007DA00 , 3K007DB03 , 3K007EB00 , 3K007FA01 , 3K007FA02 , 3K007FA03 , 4K029BA62 , 4K029BC07 , 4K029BD00 , 4K029DA00 , 4K029DA09 , 4K029DA10 , 5F004AA15 , 5F004BB05 , 5F004BD07 , 5F004DA00 , 5F004DA01 , 5F004DA04 , 5F103AA01 , 5F103BB45 , 5F103LL01 , 5F103LL20 , 5F103PP01 , 5F103RR01 , 5F103RR07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

有機薄膜形成装置及び有機材料の再利用方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-342653 Applicant：日本真空技術株式会社

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