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J-GLOBAL ID：200903050219640504

表面形状測定方法

Inventor：
中村 勝重

About 中村 勝重

, 
三浦 勝弘

About 三浦 勝弘


Applicant, Patent owner：
三鷹光器株式会社

About 三鷹光器株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000106831
Publication number (International publication number)：2001289619
Application date： Apr. 07, 2000
Publication date： Oct. 19, 2001
Summary：
【要約】【課題】 通常の室内環境で0.1μm以下の測定精度を実現する表面形状測定方法を提供する。【解決手段】 熱膨張による高さの変位量が測定対象物1と同一のリファレンス点6を設け、各走査線の測定開始時および測定終了時にリファレンス点の高さ座標を測定して、走査線上の実測点ごとに仮想基準高さを設定し、各実測点において実測値から仮想基準高さを差し引くことにより測定対象物の表面形状を算出する。
Claim (excerpt)：
対物レンズの中心部以外の外周部に細いレーザービームを通過させて0.1μm以下の分解能で高さ座標の位置決めをするオートフォーカス機構と、測定対象物を載置するステージと、をXY方向へ相対的に移動させることで、非接触で測定対象物を走査して表面形状を測定する表面形状測定方法において、熱膨張による高さの変位量が測定対象物と同一のリファレンス点を設け、各走査線の測定開始時および測定終了時にリファレンス点の高さ座標を測定して、走査線上の実測点ごとに仮想基準高さを設定し、各実測点において実測値から仮想基準高さを差し引くことにより測定対象物の表面形状を算出することを特徴とする表面形状測定方法。
IPC (2)：
G01B 11/24 ,  G01B 11/00
FI (2)：
G01B 11/00 B ,  G01B 11/24 A
F-Term (23)：
2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065BB18 ,  2F065DD03 ,  2F065EE02 ,  2F065FF10 ,  2F065FF61 ,  2F065FF67 ,  2F065GG06 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ16 ,  2F065LL04 ,  2F065MM03 ,  2F065PP02 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (1)

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