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J-GLOBAL ID：200903028116053990

表面形状測定装置及び方法

Inventor： 浜田 泰三 ,  真壁 俊夫
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 岩橋 文雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999028249
Publication number (International publication number)：2000227325
Application date： Feb. 05, 1999
Publication date： Aug. 15, 2000
Summary：

【要約】【課題】 長時間にわたる測定のなかで、測定機器の温度依存性から生じる測定誤差を解消すること。【解決手段】 XYテーブルをX軸方向に走査することで第1ライン11のデータを測定した後に測定開始ポイント2のデータを測定し、さらに第2ライン12のデータを測定した後に測定開始ポイント2のデータを測定し、この走査を順次繰り返し、測定開始ポイント2の測定毎のデータを比較することにより、測定途中で生じる誤差を補正して正確な表面形状の測定を可能とする。

Claim (excerpt)：

被測定物に対し、非接触でその表面形状を測定する走査型の測定装置であって、測定途中で前記被測定物上の所定のポイントを複数回測定することを特徴とする表面形状測定装置。

IPC (2)：

G01B 21/30 ,  G01B 11/30 102

FI (2)：

G01B 21/30 Z ,  G01B 11/30 102 Z

F-Term (56)：

2F065AA45 ,  2F065AA49 ,  2F065CC03 ,  2F065CC25 ,  2F065CC37 ,  2F065DD04 ,  2F065DD08 ,  2F065EE01 ,  2F065EE06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065FF21 ,  2F065GG04 ,  2F065GG12 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ19 ,  2F065KK01 ,  2F065LL04 ,  2F065MM02 ,  2F065MM16 ,  2F065MM26 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ31 ,  2F065RR06 ,  2F065RR09 ,  2F065UU06 ,  2F069AA51 ,  2F069AA60 ,  2F069BB13 ,  2F069DD08 ,  2F069DD19 ,  2F069DD30 ,  2F069EE02 ,  2F069EE04 ,  2F069EE22 ,  2F069FF07 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG39 ,  2F069GG52 ,  2F069GG56 ,  2F069GG74 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ19 ,  2F069JJ26 ,  2F069MM04 ,  2F069MM24 ,  2F069MM34 ,  2F069PP02 ,  2F069QQ05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 走査型測定機のドリフト補正方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-065430   Applicant：東陶機器株式会社
• 座標測定機
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-073967   Applicant：株式会社ニコン