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J-GLOBAL ID：200903050288892779

固体撮像素子、固体撮像装置およびその製造方法

Inventor： 歳清 公明 ,  余湖 孝紀 ,  石井 基範 ,  松野 年伸 ,  小野澤 和利
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 新居 広守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005178585
Publication number (International publication number)：2006351972
Application date： Jun. 17, 2005
Publication date： Dec. 28, 2006
Summary：

【課題】 入射角が大きい光学系に対応し得る高感度な固体撮像装置等を提供する。【解決手段】 各画素(サイズ□2.25μm)は、分布屈折率レンズ1、G用カラーフィルタ2、Al配線3、信号伝送部4、平坦化層5、受光素子(Siフォトダイオード)6、Si基板7から構成されている。分布屈折率レンズの同心円構造は、SiO2(n=2)によって構成されており、膜厚1.2μm(グレー)、0.8μm(ドットパターン)、0μm(パターンなし:白)の2段同心円構造である。また、本実施例の集光素子は、SiO2を同心円形状に掘り込んだ構造であり、周りの媒質は空気(n=1)である。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

集光素子を有する固体撮像素子であって、 前記集光素子は、入射光の波長と同程度かそれより短い線幅で分割された同心構造の複数のゾーン領域の組み合わせによって構成されており、 前記複数のゾーン領域のうち少なくとも一のゾーン領域は、第1線幅および第1膜厚の前記同心構造の下段光透過膜と、当該下段光透過膜の上位に構成される第2線幅および第2膜厚の前記同心構造の上段光透過膜とを含む ことを特徴とする固体撮像素子。

IPC (2)：

H01L 27/14 ,  H04N 5/335

FI (3)：

H01L27/14 D ,  H04N5/335 U ,  H04N5/335 V

F-Term (13)：

4M118AA01 ,  4M118AB01 ,  4M118BA09 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118CA02 ,  4M118FA06 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD10 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024EX43

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 回折光学素子およびこれを備えた光学系、光学装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-176143   Applicant：キヤノン株式会社

Cited by examiner (3)

• レンズアレイ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-205966   Applicant：松下電器産業株式会社
• 回折型フィルタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-369589   Applicant：富士写真光機株式会社
• マイクロレンズの形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-356575   Applicant：ソニー株式会社