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J-GLOBAL ID:200903050368710230
染料含有レジスト組成物及びそれを用いるカラーフィルター
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004233104
Publication number (International publication number):2005099747
Application date: Aug. 10, 2004
Publication date: Apr. 14, 2005
Summary:
【課題】 カラーフィルターの薄膜化に対応すべく、染料濃度を高めても異物発生等の問題が発生しないカラーレジスト組成物及びそれを用いるカラーフィルターを提供する。【解決手段】 ケトール系溶剤を含む染料含有レジスト組成物。樹脂、光酸発生剤又は光塩基発生剤、架橋性化合物、染料、及びケトール系溶剤を含有するネガ型レジスト組成物。樹脂、光ラジカル発生剤、架橋性化合物、染料及びケトール系溶剤を含有するネガ型レジスト組成物。樹脂、光酸発生剤、架橋性化合物、染料及びケトール系溶剤を含有するポジ型レジスト組成物。ケトールがβ-ヒドロキシケトンであるレジスト組成物。ケトールが4-ヒドロキシ-4-メチル-2-ペンタノンであるレジスト組成物。【選択図】 なし
Claim (excerpt):
ケトール系溶剤を含む染料含有レジスト組成物。
IPC (4):
G03F7/004
, G02B5/20
, G02F1/1335
, H01L27/14
FI (5):
G03F7/004 501
, G03F7/004 505
, G02B5/20 101
, G02F1/1335 505
, H01L27/14 D
F-Term (32):
2H025AA18
, 2H025AB13
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025CB16
, 2H025CB17
, 2H025CB29
, 2H025CC03
, 2H025CC13
, 2H025CC17
, 2H025CC20
, 2H025FA17
, 2H048BA02
, 2H048BA48
, 2H048BB02
, 2H048BB42
, 2H048BB46
, 2H091FA02X
, 2H091FA02Y
, 2H091FA02Z
, 2H091FB02
, 2H091FB12
, 2H091LA01
, 2H091LA07
, 4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118BA10
, 4M118FA06
, 4M118GC07
, 4M118GC17
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
Cited by examiner (5)
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