Pat

J-GLOBAL ID：200903034769784052

ネガ型レジスト組成物及びそれを用いるカラーフィルターの製造方法

Inventor： 日城 良樹 ,  竹山 尚幹 ,  山本 茂樹
Applicant, Patent owner： 住友化学工業株式会社
Agent (1)： 久保山 隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992201040
Publication number (International publication number)：1994051514
Application date： Jul. 28, 1992
Publication date： Feb. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】 解像度及び耐熱性等の諸性能に優れたネガ型レジスト組成物、並びにそれを用いる、工程管理等の容易なカラーフィルターの製造方法を提供する。【構成】 酸により硬化しうる樹脂、架橋剤、光酸発生剤、染料及び溶剤を含有してなるネガ型レジスト組成物、並びに上記組成物を基体上に塗布後、マスクを通した露光により該露光部を硬化させ、次いで、非露光部を現像除去することからなるカラーフィルターの製造方法。

Claim (excerpt)：

酸により硬化しうる樹脂、架橋剤、光酸発生剤、染料及び溶剤を含有してなるネガ型レジスト組成物。

IPC (6)：

G03F 7/038 505 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (17)

• 特開平4-163552
  
• 特開平3-170544
  
• 特開平4-136941
  
• 特開平4-136860
  
• 特開平2-191248
  
• 特開平2-052348
  
• 特開平2-217855
  
• 特開昭64-054441
  
• 特開昭62-038448
  
• 特開昭60-039642
  
• 特開平1-293339
  
• 特開平4-175753
  
• ネガ型感光性組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-171036   Applicant：三菱化成株式会社
• 感光性組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-194444   Applicant：三菱化成株式会社
• ネガ型感光性組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-190059   Applicant：三菱化成株式会社
• ネガ型放射線感応性レジスト組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-137542   Applicant：東京応化工業株式会社
• ネガ型フオトレジスト組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-149392   Applicant：富士写真フイルム株式会社