ネガ型レジスト組成物及びそれを用いるカラーフィルターの製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：久保山隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992201040
Publication number (International publication number)：1994051514
Application date： Jul. 28, 1992
Publication date： Feb. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】解像度及び耐熱性等の諸性能に優れたネガ型レジスト組成物、並びにそれを用いる、工程管理等の容易なカラーフィルターの製造方法を提供する。【構成】酸により硬化しうる樹脂、架橋剤、光酸発生剤、染料及び溶剤を含有してなるネガ型レジスト組成物、並びに上記組成物を基体上に塗布後、マスクを通した露光により該露光部を硬化させ、次いで、非露光部を現像除去することからなるカラーフィルターの製造方法。

Claim (excerpt)：

酸により硬化しうる樹脂、架橋剤、光酸発生剤、染料及び溶剤を含有してなるネガ型レジスト組成物。

IPC (6)：

G03F 7/038 505 , G02B 5/20 101 , G03F 7/004 503 , G03F 7/022 , G03F 7/029 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (29)

特開平4-163552
特開平3-170544
特開平4-136941

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