圧電体素子及びこれを用いたアクチュエータ並びにインクジェット式記録ヘッド

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴木喜三郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997021855
Publication number (International publication number)：1998217458
Application date： Feb. 04, 1997
Publication date： Aug. 18, 1998
Summary：

【要約】【課題】圧電体素子の耐電圧性を向上し、信頼性の高い圧電体素子を提供し、この圧電体素子を用いた信頼性の高いアクチュエータ及びインクジェット式記録ヘッドを提供する。【解決手段】下電極11と、下電極11上に形成された圧電体膜12と、圧電体膜12上に形成された上電極13と、を備えた圧電体素子10であって、少なくとも圧電体膜12の粒界露出領域に、圧電体膜12より低誘電率を備えた低誘電性物質14を形成した。

Claim (excerpt)：

下電極と、当該下電極上に形成された圧電体膜と、当該圧電体膜上に形成された上電極と、を備えた圧電体素子であって、少なくとも前記圧電体膜の粒界露出領域に、当該圧電体膜より低誘電率を備えた低誘電性物質が形成されてなる圧電体素子。

IPC (3)：

B41J 2/045 , H01L 41/09 , H02N 2/00

FI (3)：

B41J 3/04 103 D , H02N 2/00 B , H01L 41/08 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

酸化物薄膜およびその作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-290732 Applicant：富士ゼロックス株式会社

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