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J-GLOBAL ID：200903050636061835
微細加工方法および微細加工構造物
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996050582
Publication number (International publication number)：1997239570
Application date： Mar. 07, 1996
Publication date： Sep. 16, 1997
Summary：
【要約】【課題】 立体的な微細構造物を形成するための微細加工技術を提供する。【解決手段】 シリコン基板10にカンチレバー11のような微細構造物を形成し、カンチレバー11の一部にレーザー光を照射して加熱することにカンチレバー11を折り曲げる。この折り曲げられた2本のカンチレバー11は、あらかじめ加工された水晶基板10の貫通穴14に通され、先端部15を加熱する。加熱された先端部15は、太くなると同時に短くなっていくため、水晶基板12をシリコン基板10上にがたつきなく固定することができる。このような方法で微細構造物の一部を加熱することによって、塑性変形を生じさせ、折り曲げ加工、変形加工を行うことにより、立体的な微細加工構造物の構築、組立を行う。
Claim (excerpt)：
微細構造物の加工において、加熱手段によって局所的に加熱することによって塑性変形を生じさせ、3次元的な構造物を形成することを特徴とする微細加工方法。
IPC (5)：
B23K 26/00
, B29C 67/00
, H01L 29/84
, H01L 41/08
, H01L 41/22
B23K 26/00 A
, B29C 67/00
, H01L 29/84 B
, H01L 41/08 D
, H01L 41/22 Z
Cited by examiner (6)
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