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J-GLOBAL ID：200903050739993388

スペーサ及びそのスペーサを用いた光学素子 並びにその製造方法

Inventor：
村田 剛

About 村田 剛

, 
片野 克彦

About 片野 克彦


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995228398
Publication number (International publication number)：1997073092
Application date： Sep. 05, 1995
Publication date： Mar. 18, 1997
Summary：
【要約】【課題】 間隙形成精度が高く、液晶セルや空間光変調素子において高分解能でしかも画質を損なう原因となることがないスペーサを提供することを目的とする。【解決手段】 少なくとも、書き込み光に対して透明な第1基板上に形成された第1透明電極層と、読み出し光に対して透明な第2基板上に形成された第2透明電極層との間に前記第1透明電極層側から感光体層、遮光層、誘電体ミラー層及び液晶層を順次配置させた光書き込み型空間光変調素子であって、前記液晶層の間隙を制御するスペーサがフォトレジストをエッチングしてなることを特徴とする光書き込み型空間光変調素子。
Claim (excerpt)：
フォトレジストをエッチングしてなるスペーサ。
IPC (2)：
G02F 1/1339 500 ,  G02F 1/135
FI (2)：
G02F 1/1339 500 ,  G02F 1/135
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (14)
  • 特開昭59-143124
  • 特開昭61-173221
  • 特開平1-134336
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