圧電/電歪デバイスおよびその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大庭咲夫 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001076314
Publication number (International publication number)：2002289936
Application date： Mar. 16, 2001
Publication date： Oct. 04, 2002
Summary：

【要約】【課題】左右一対の可動部11a,11bとその一端部側に固定部11cを有する基体11と、基体11の可動部11a,11bの側面に配設した圧電/電歪素子12a,12bを具備する圧電/電歪デバイスを、部品点数の少ない構成とする。【解決手段】圧電/電歪デバイスの基体として、基体を平板状に展開した形状に打抜き加工してなる原板を屈曲加工した一体構造の基体11を採用することにより、部品点数の少ない構成の圧電/電歪デバイスを提供する。

Claim (excerpt)：

左右一対の可動部およびこれら両可動部を一端部側にて互いに連結する固定部を有する基体と、同基体の前記両可動部の少なくとも一方の側面に配設した圧電/電歪素子を具備する圧電/電歪デバイスであり、前記基体は1枚の平板にて構成されていて、前記固定部は平板状を呈し、前記各可動部は、前記固定部の各側縁部から所定高さ起立して互いに対向して、固定部の各側縁部に沿って同固定部の他端部を越えて延出していることを特徴とする圧電/電歪デバイス。

IPC (5)：

H01L 41/09 , H01L 41/083 , H01L 41/187 , H01L 41/22 , H02N 2/00

FI (7)：

H02N 2/00 B , H01L 41/08 J , H01L 41/08 N , H01L 41/18 101 B , H01L 41/18 101 C , H01L 41/18 101 D , H01L 41/22 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開昭62-015410
角速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-045587 Applicant：松下電器産業株式会社
音叉型圧電振動子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-273557 Applicant：株式会社リケン

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