ピエゾ抵抗特性を有するアモルファス炭素層を使用した機械的要素の特性値を状態測定するセンサ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (4)：矢野敏雄 , 山崎利臣 , 久野琢也 , アインゼル・フェリックス=ラインハルト
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2002554684
Publication number (International publication number)：2004517483
Application date： Jan. 08, 2001
Publication date： Jun. 10, 2004
Summary：

本発明は、機械的要素の表面に作用する実際の負荷を測定するセンサに関し、この際センサとして有利には少なくとも1種の金属及び/又は非金属元素がドーピングされており、かつ測定装置と接点を介して接続されたアモルファス炭化水素層を使用する;さらに、本発明は、有利には金属及び/又は非金属元素がドーピングされた、ピエゾ抵抗特性を有する炭素層を負荷測定のためのセンサとして使用することに関し、並びに機械的要素の負荷を受けた表面の実際の負荷を測定する方法であって、その際測定センサとして有利には金属及び/又は非金属元素がドーピングされたアモルファス炭素層を使用する方法に関する。

Claim (excerpt)：

ピエゾ抵抗特性を有するアモルファス炭素層の、機械的要素(1)の負荷される表面の実際の状態量を測定するセンサとしての使用。

IPC (5)：

H01L29/84 , C01B31/02 , C23C16/26 , G01L1/18 , G01L5/00

FI (6)：

H01L29/84 Z , C01B31/02 101Z , C23C16/26 , G01L1/18 Z , G01L5/00 D , G01L5/00 103

F-Term (33)：

2F051AA11 , 2F051AB08 , 4G146AA01 , 4G146AA05 , 4G146AA16 , 4G146AA17 , 4G146AB10 , 4G146AD02 , 4G146AD19 , 4G146AD28 , 4K029BA34 , 4K029BB10 , 4K029BC02 , 4K029BD00 , 4K029CA06 , 4K029CA13 , 4K030AA06 , 4K030AA09 , 4K030AA11 , 4K030BA27 , 4K030BA29 , 4K030BB05 , 4K030FA01 , 4K030LA11 , 4M112AA01 , 4M112BA01 , 4M112CA41 , 4M112CA47 , 4M112DA06 , 4M112DA09 , 4M112DA15 , 4M112EA01 , 4M112EA10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平3-296662
微結晶炭化珪素薄膜の製造方法及びその製造方法を用いたピエゾ抵抗体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-038008 Applicant：松下電工株式会社, 松下電器産業株式会社
特開昭58-181775

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

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