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J-GLOBAL ID：200903050873563012

電界放出型電子源およびアレイ状基板

Inventor： 太田 英一
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Agent (1)： 植本 雅治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992301886
Publication number (International publication number)：1994131968
Application date： Oct. 14, 1992
Publication date： May. 13, 1994
Summary：

【要約】【目的】 安定した放出特性をもち、また、陰極特性の経時変化を有効に抑えることが可能である。【構成】 基板1上に、ホール7の形成された絶縁層2が設けられ、この絶縁層2のホール7の中心部に、基板1と接して(あるいは基板1と一体の)円錐形のエミッタ3が設けられている。ここで、エミッタ3の表面には、硬質炭素膜または炭化物層からなる被覆膜4が形成されている。また、絶縁層2の基板1とは反対側の面には制御用のゲート電極5が設けられており、さらに、ゲート電極5の上方には、エミッタ3と所定の間隔をへだててアノード6が配置されている。エミッタ3の表面に硬質炭素膜または炭化物層の被覆膜が設けられているので、エミッタ3に雰囲気ガスが吸着されにくく、安定した放出特性を得ることができる。

Claim (excerpt)：

エミッタ部に強電界が印加されることにより、エミッタ部から電子を放出させる構成の電界放出型電子源において、前記エミッタ部の表面には硬質炭素膜の被覆膜が設けられていることを特徴とする電界放出型電子源。

IPC (2)：

H01J 1/30 ,  C23C 16/26

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平2-220337
  
• 電界放出電子エミッタ及びその形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-241326   Applicant：モトローラ・インコーポレイテッド