気中不純物監視装置および気中不純物監視方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：須山佐一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995310604
Publication number (International publication number)：1997145616
Application date： Nov. 29, 1995
Publication date： Jun. 06, 1997
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】クリーンルーム内の雰囲気中における微粒子や不純物濃度を、自動的、迅速かつ連続して測定可能で、取り扱いが簡便で低コストの気中不純物監視装置と方法を提供する。【解決手段】本監視装置は少なくとも1個の密閉可能な不純物捕捉容器1と、容器1に超純水を供給する超純水導入ライン3aと、容器1に供給された超純水中にクリーンルーム内の雰囲気を通気して試料水とする雰囲気通気ライン4aと、容器1内の圧力を調整する排気ライン5aと、前記試料水を容器1外へ排出する排出ライン8aと、前記試料水を霧化して急速乾燥させ試料水中の不純物を微粒子状に浮遊させ光学的に不純物濃度を測定する測定装置9と、容器1から測定装置9に前記試料水を導入する試料水導入ライン7aと、測定結果を出力する出力装置11と、測定結果を記録する記録装置12と、各ライン、測定装置、出力装置および記録装置を制御する制御装置10とを備える。

Claim (excerpt)：

少なくとも1個の密閉可能な不純物捕捉容器と、該不純物捕捉容器に超純水を供給する超純水導入ラインと、前記不純物捕捉容器に供給された超純水中にクリーンルーム内の雰囲気を通気して試料水とする雰囲気通気ラインと、前記不純物捕捉容器内の圧力を調整する排気ラインと、前記試料水を前記不純物捕捉容器外へ排出する排出ラインと、前記試料水を霧化して急速乾燥させ試料水中の不純物を微粒子状に浮遊させて光学的に不純物濃度を測定する測定装置と、前記不純物捕捉容器から前記測定装置に前記試料水を導入する試料水導入ラインと、前記測定装置の測定結果を出力する出力装置と、前記測定結果を記録する記録装置と、前記各ライン、前記測定装置、前記出力装置および前記記録装置を所定の手順にしたがって制御する制御装置とを備えたことを特徴とする気中不純物監視装置。

IPC (2)：

G01N 21/49 , G01B 11/00

FI (2)：

G01N 21/49 C , G01B 11/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平1-203943
スラリー液沈降濾過装置およびそれを用いたスラリー液自動サンプリング装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-177647 Applicant：住友金属鉱山株式会社
湿式集塵装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-223332 Applicant：株式会社佐竹製作所

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