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J-GLOBAL ID：200903051126522893

特定ガス回収装置

Inventor： 高野 和潔 ,  大熊 光一
Applicant, Patent owner： 山陽電子工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001164310
Publication number (International publication number)：2002355518
Application date： May. 31, 2001
Publication date： Dec. 10, 2002
Summary：

【要約】【課題】 被回収容器26内に特定ガスを回収するに当たって、ガス分離部で特定ガスと他の混合ガスとに分離する工程にあいて、分離しきれなかった特定ガスが多少あっても、大気中に一切放出することがないような特定ガス回収装置を提供する。【解決手段】 ガス分離部21で、特定ガスと他の混合ガスとに分離する過程において、窒素ガス等の混合ガスと共に僅かな特定ガスが混在する排ガスを、排ガス入口20を介してガス分離部21内の排ガスタンク6に一旦貯留した後に排ガス出口2を介して被回収容器26へ再び還流する。

Claim (excerpt)：

ガス分離部とポンプを有する特定ガス回収装置において、被回収容器より特定ガスを含む被回収ガスを該ガス分離部に導入し、特定ガスと他の混合ガスとに分離せしめて特定ガスを回収すると共に、該混合ガスを該ポンプにて被回収容器に戻すように構成したことを特徴とする特定ガス回収装置。

F-Term (8)：

4D012CA03 ,  4D012CA12 ,  4D012CB16 ,  4D012CE01 ,  4D012CE02 ,  4D012CH03 ,  4D012CH06 ,  4D012CJ01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• SF6ガス回収装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-010143   Applicant：山陽電子工業株式会社
• SF6ガス回収装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-010142   Applicant：山陽電子工業株式会社