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J-GLOBAL ID:200903013828996240

SF6ガス回収装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000010142
Publication number (International publication number):2001087617
Application date: Jan. 14, 2000
Publication date: Apr. 03, 2001
Summary:
【要約】【課題】 被回収容器内のSF6ガスを大気中に漏出することなくほぼ全量を回収する。【解決手段】 被回収容器内のSF6ガスを加圧部や、PSA式のガス分離部2によりSF6ガスとその他の大気成分に準じたガスとに分離してSF6ガスのみを取り出し、冷却して液化したSF6ガスを回収するSF6ガス回収装置において、そのガス分離部のサイクルタイムをSF6ガスの濃度を計測した値により制御する。
Claim (excerpt):
吸着剤を充填した吸着筒を有するPSA方式によるガス分離部とSF6ガス濃度計測部を有するSF6ガス回収装置において、被回収容器より被回収ガスを取り出して該ガス分離部に送入し、加圧吸着工程と減圧再生工程のサイクルを繰り返す前記のガス分離部のサイクルタイムを、該SF6ガス濃度計測部の容器中に被測定ガスを導入して、その圧力を一定に保った雰囲気内に高温発熱体をおき、この高温発熱体の温度を計測して得た温度値から演算して得たSF6ガスの濃度値に基づいて変更するようにしたことを特徴とするSF6ガス回収装置。
IPC (2):
B01D 53/04 ,  F17C 7/00
FI (2):
B01D 53/04 B ,  F17C 7/00 Z
F-Term (14):
3E072AA03 ,  3E072AA10 ,  3E072EA02 ,  3E072GA30 ,  4D012CA12 ,  4D012CA20 ,  4D012CB16 ,  4D012CE02 ,  4D012CF03 ,  4D012CF04 ,  4D012CF05 ,  4D012CG01 ,  4D012CH06 ,  4D012CJ01
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
  • 圧力スイング吸着方法
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平4-253283   Applicant:新日本製鐵株式会社
  • ガス給排装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平9-093430   Applicant:株式会社日立製作所
  • ガス絶縁機器用分解ガス検出装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平4-191789   Applicant:株式会社明電舎

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