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J-GLOBAL ID：200903051208925759

マイクロプラズマジェット発生装置

Inventor： 一木 隆範
Applicant, Patent owner： 独立行政法人科学技術振興機構
Agent (1)： 本多 一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004076940
Publication number (International publication number)：2005267975
Application date： Mar. 17, 2004
Publication date： Sep. 29, 2005
Summary：

【課題】 大気圧にて微小空間での安定したマイクロプラズマジェットを小電力で良好に生成させることのできるマイクロプラズマジェット発生装置を提供する。【解決手段】 VHF帯の高周波電源により駆動されるマイクロ誘導結合プラズマジェットを生成するマイクロプラズマジェット発生装置において、基板1と、基板上に配設されたマイクロアンテナ2a,2b,2cと、マイクロアンテナの近傍に設置された放電管3とを備え、マイクロアンテナが平板状に複数巻の波状形態を有する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

VHF帯の高周波電源により駆動されるマイクロ誘導結合プラズマジェットを生成するマイクロプラズマジェット発生装置において、基板と、該基板上に配設されたマイクロアンテナと、該マイクロアンテナの近傍に設置された放電管とを備え、前記マイクロアンテナが平板状に複数巻の波状形態を有することを特徴とするマイクロプラズマジェット発生装置。

IPC (7)：

H05H1/46 ,  B08B7/00 ,  G01N27/447 ,  G01N37/00 ,  H01L21/304 ,  H01L21/3065 ,  H05H1/24

FI (8)：

H05H1/46 L ,  B08B7/00 ,  G01N37/00 101 ,  H01L21/304 645C ,  H05H1/24 ,  H01L21/302 101E ,  G01N27/26 315K ,  G01N27/26 331E

F-Term (18)：

3B116AA02 ,  3B116AA03 ,  3B116AB01 ,  3B116AB52 ,  3B116BC01 ,  5F004AA16 ,  5F004BA11 ,  5F004BA20 ,  5F004BB11 ,  5F004BB29 ,  5F004DA01 ,  5F004DA18 ,  5F004DA21 ,  5F004DA22 ,  5F004DA23 ,  5F004DA24 ,  5F004DA25 ,  5F004DA26

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• マイクロ化学分析システム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-061005   Applicant：学校法人東洋大学