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J-GLOBAL ID:200903069556472829
マイクロ化学分析システム
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
西澤 利夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001061005
Publication number (International publication number):2002257785
Application date: Mar. 05, 2001
Publication date: Sep. 11, 2002
Summary:
【要約】【課題】 高感度な微量分析を可能とする、新しいマイクロプラズマ源やマイクロネブライザーという要素技術とともに、これをチップに備えたマイクロ化学分析システムを提供する。【解決手段】 基板に微細な流路が配設されてフロー型分析システムが構成されているマイクロ化学分析システムにおいて、VHF駆動マイクロ誘導結合プラズマ源部が流路に配置されているものとする。
Claim (excerpt):
基板に微細な流路が配設されてフロー型分析システムが構成されているマイクロ化学分析システムにおいて、VHF駆動マイクロ誘導結合プラズマ源部が流路に配置されていることを特徴とするマイクロ化学分析システム。
IPC (2):
G01N 27/447
, G01N 37/00 101
FI (3):
G01N 37/00 101
, G01N 27/26 331 E
, G01N 27/26 331 K
Patent cited by the Patent: